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孙慧姝

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：北京邮电大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇键合
  • 1篇水性
  • 1篇亲水性
  • 1篇晶片
  • 1篇晶片键合
  • 1篇冷光源
  • 1篇键合技术
  • 1篇键合质量
  • 1篇GAAS/I...
  • 1篇INP
  • 1篇GAAS

机构

  • 2篇北京邮电大学

作者

  • 2篇孙慧姝
  • 1篇马如兵
  • 1篇黄永清
  • 1篇黄辉
  • 1篇陈斌
  • 1篇任晓敏
  • 1篇王琦

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
冷光源检测晶片键合质量的实现被引量：1
2005年
利用红外透射原理,即根据键合晶片中键合部分可以透光而未键合部分几乎不能透光的原理,同时采用冷光源的独特方法构建了键合质量测试平台以用于初步筛选符合下一步工艺探索的高质量键合晶片。
马如兵孙慧姝陈斌王琦黄辉黄永清任晓敏
关键词：晶片键合冷光源
GaAs/InP低温晶片键合技术的相关理论研究和测试
本论文的主要工作如下：1.详细介绍了半导体晶片键合技术的起源和发展，归纳了晶片直接键合技术的国内外发展现状，并对半导体晶片键合技术的分类和应用进行了系统的总结。2.界面问题是晶片键合技术的核心，本文对几个热点界面问题进行...
孙慧姝
关键词：GAASINP亲水性
文献传递
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