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吴晓松

作品数：7 被引量：8H指数：1
供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
发文基金：上海市“科技创新行动计划”国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术化学工程理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇化学工程
  • 1篇经济管理
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 3篇PECVD
  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅薄膜
  • 2篇正交
  • 2篇硅薄膜
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇优化设计
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇正交实验
  • 1篇正交试验
  • 1篇设计方法
  • 1篇热变形
  • 1篇结构优化
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇PECVD法

机构

  • 5篇上海交通大学

作者

  • 5篇吴晓松
  • 4篇褚学宁
  • 2篇李玉鹏
  • 1篇程辉
  • 1篇都琪

传媒

  • 1篇机械设计与研...
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇装备制造技术
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 7 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于改进设计故障模式集成的PECVD优化设计
2013年
设计故障模式及后果分析(DFMEA)能够在设计阶段充分考虑故障模式对产品功能的影响,从而提高产品设计的可靠度与安全性。但现有DFMEA的研究和应用缺少对多重条件约束的考量。基于此提出了优先理想矩阵与DFMEA集成的模型,将性能、成本、时间及其改进的余地运用到FMEA的严重性评价中。并且将此方法应用到等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)的设计中,提出了PECVD优化设计的流程和DFMEA计算模板。结果表明,此方法能够有效的进行PECVD故障原因与影响分析,及其系统优化设计。
吴晓松褚学宁程辉
关键词：产品设计设计方法
基于数字模拟的PECVD沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法研究
2015年
提出了基于数字模拟的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法。氮化硅薄膜的主要影响因子和质量特性参数通过领域知识和专家意见先期获得,通过单因素物理试验获得工艺参数和质量特性参数之间的关系,通过数字模拟的正交试验获得最佳的工艺参数。考虑到PECVD沉积氮化硅薄膜实验所需的时间和费用,基于数字模拟的PECVD沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法可以在数据离散化、领域知识不充分的环境中高效经济地进行工艺参数的优化选择。
吴晓松李玉鹏褚学宁
关键词：氮化硅薄膜等离子体增强化学气相沉积正交实验
基于正交试验的PECVD法沉积氮化硅薄膜工艺参数优化研究被引量：5
2014年
利用多响应正交试验方法研究了PECVD法沉积氮化硅薄膜的工艺参数的优化问题。鉴于目前针对多输出影响过程,尚无有效的方法进行工艺参数优化这一问题,利用综合评分法对衬底温度、气体总流量、NH3/SiH4流量比、反应腔气体压力、高频电场功率5个对氮化硅薄膜的主要质量特性影响较大的工艺参数进行全局优化,再对不满足质量期望的工艺参数进行部分正交分析,对全局优化的结果进行调整,得到最终的氮化硅镀膜的最优工艺参数。国内某光伏企业的验证试验表明了所提方法的有效性。
吴晓松褚学宁李玉鹏
关键词：PECVD氮化硅薄膜正交试验工艺参数
DFC在PECVD设计开发中的应用研究
2012年
简述面向成本设计(Design for cost,DFC)的概念以及我国光伏设备行业的现状,并将DFC理论应用于PECVD设备设计开发过程,对概念设计阶段、详细设计阶段、制造组装阶段等进行指导,提高国产品牌PECVD设备的市场竞争力。
都琪吴晓松
PECVD装置的有限元分析及结构优化被引量：1
2013年
针对PECVD装置在真空高温工作环境下存在的热变形问题,运用有限元流—热—结构耦合分析方法,对装置结构进行流固耦合传热特性分析,得出装置的稳态温度场分布情况,将分析结果作为装置流—热—结构耦合分析的边界条件加载到装置结构上,求得装置在热载荷和结构载荷综合作用下的变形情况。基于原有装置结构的分析结果,分析装置变形的主要原因,提出可行的优化改进方法。有限元分析结果表明,装置变形是热载荷和结构载荷综合作用的结果,其中热载荷为装置变形的主要因素;减小热载荷是控制装置变形,保证装置正常工作及可靠性的一个非常重要的因素。
吴晓松褚学宁
关键词：热变形有限元结构优化
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