吴敢
- 作品数：59 被引量：104H指数：5
- 供职机构：兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金真空低温技术与物理国家级重点实验室基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
- PtSi红外探测器材料制备技术
- 2000年
- 介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等 Pt Si薄膜的制备方法及应用进展。着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点。
- 李美成蔡伟王中赵连城陈学康杨建平王菁吴敢
- 关键词：红外探测器PTSI
- 大面积三维激光刻蚀技术研究
- 为了解决大面积曲面表面金属薄膜图形的精确定位及精密成型的技术瓶颈,研究开发了大面积三维激光刻蚀技术。大面积三维激光刻蚀技术利用短脉冲高峰值功率激光进行材料表面物质的精密去除,并具有复杂三维曲面加工的能力,实现跨尺度微米级...
- 吴敢杨建平王瑞曹生珠陈学康
- 用于低轨航天器的吸气式电火箭
- 本发明公开了一种用于低轨航天器的吸气式电火箭，属于航天技术和真空技术领域。所述电火箭包括：多孔阵列板、涡轮分子泵、压缩气体输送管道、电推力器和航天器主体；其中，涡轮分子泵安装在航天器主体前端，电推力器安装在航天器主体后端...
- 陈学康李艳武王兰喜吴敢汪忠尚凯文
- 文献传递
- 大面积三维激光刻蚀技术研究
- 为了解决大面积曲面表面金属薄膜图形的精确定位及精密成型的技术瓶颈，研究开发了大面积三维激光刻蚀技术。大面积三维激光刻蚀技术利用短脉冲高峰值功率激光进行材料表面物质的精密去除，并具有复杂三维曲面加工的能力，实现跨尺度微米级...
- 吴敢杨建平王瑞曹生珠陈学康
- 化学气相沉积金刚石薄膜的紫外脉冲准分子激光抛光
- 目前，在硅、石英等异质基底上利用化学气相沉积方法制备的金刚石薄膜多呈现出以(111)取向为主的多晶结构，晶粒粗大，而且金刚石薄膜的粗糙度可从几微米到几十微米，限制了金刚石薄膜在电子学、光学、热学及摩擦学上的应用。因此，抛...
- 王兰喜陈学康吴敢曹生珠尚凯文
- 化学气相沉积金刚石薄膜的紫外脉冲准分子激光抛光
- 目前,在硅、石英等异质基底上利用化学气相沉积方法制备的金刚石薄膜多呈现出以(111)取向为主的多晶结构,晶粒粗大,而且金刚石薄膜的粗糙度可从几微米到几十微米,限制了金刚石薄膜在电子学、光学、热学及摩擦学上的应用。因此,抛...
- 王兰喜陈学康吴敢曹生珠尚凯文
- 文献传递
- 准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究被引量：2
- 2009年
- 利用KrF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度和照射脉冲数对薄膜结晶度的影响,并对晶化后薄膜的形貌和结构进行了表征。结果表明:该非晶硅薄膜晶化阈值约为110mJ/cm2,且不受照射脉冲数的影响;激光能量密度是影响薄膜结晶度的首要因素,但在较低的能量密度时,增加照射脉冲数也会显著的提高薄膜结晶度;结构及形貌表征发现,薄膜晶化层厚度约为400～500nm,平均晶粒尺寸为30～50nm。
- 崔连武程华吴敢黄荣芳闻火闻立时
- 关键词：准分子激光非晶硅薄膜结晶度
- 一种提高天线反射器表面FSS激光刻蚀加工精度的方法
- 本发明涉及一种提高天线反射器表面FSS激光刻蚀加工精度的方法，属于天线反射器FSS加工技术领域。本发明所述方法首次提出了采用天线反射器实测型面数据修正激光刻蚀用设计型面数据，即将实测型面数据转化为与设计型面数据同一坐标系...
- 王瑞尚凯文周晖吴敢杨建平郑军左华平
- 文献传递
- 激光刻蚀技术及其在航天器天线制造中的应用被引量：9
- 2011年
- 以可实现频率复用、高灵敏度和低噪声的航天器先进固面天线反射器(极化和频率敏感反射器等)为例,主要介绍了利用镀膜/激光刻蚀技术进行反射器表面高精度金属薄膜图形制作过程中的关键技术问题和解决措施,同时简要介绍了已尝试过的三维曲面高精度薄膜图形制作技术和激光刻蚀技术的现状和发展方向。
- 杨建平陈学康吴敢王瑞曹生珠
- 关键词：激光刻蚀航天器天线反射器
- 用于金属薄膜刻蚀的激光束能量分布整形研究
- 2015年
- 针对碳纤维复合材料基底上的金属薄膜图形刻蚀需求,研究了一种基于光学波前衍射变换原理的能量/激光功率密度分布整形方法,并设计制作了衍射元件。利用基模(TEM00)和非基模输出的红外激光分别进行了验证实验,用整形后的激光光束进行刻蚀,金属薄膜被完全去除,刻蚀边界锋锐整齐,基底没有可见的损伤。衍射元件对于基模模式输出激光的转换效率为71%,对非基模模式的转换效率为53%。
- 杨建平陈学康吴敢王瑞
- 关键词：激光刻蚀衍射元件光束整形
