余惠娟
- 作品数：17 被引量：28H指数：3
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 一种基于光纤拉锥技术的接触式光纤微探头的制备方法
- 本发明公开了一种基于光纤拉锥技术的接触式光纤微探头的制备方法。通过光纤拉锥技术，将单模光纤的直径拉细至小于40μm的范围内。然后将拉锥后的单模光纤准确地放入光纤熔接机的V型槽中，同时使光纤被拉锥部分置于光纤熔接机的放电区...
- 黄强先赵剑史科迪李志渤蔡学超余惠娟
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- 双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法
- 本发明公开了一种双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承...
- 余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤
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- 双端音叉三维谐振触发探头系统
- 本实用新型公开了一种双端音叉三维谐振触发探头系统，由支承架、转接件、双端音叉和光纤微探球构成。支承架用于固定整个测头机构。转接件分别固定于支承架下方的两端，用于连接支承架及双端音叉。双端音叉同时作为悬臂梁和微力传感器，其...
- 余惠娟黄强先袁钰赵晓萌卞亚魁
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- 基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型...
- 黄强先余惠娟魏晋鹏黄帅宫二敏李志渤
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- 微纳米三坐标测量机测头的研究进展被引量：15
- 2013年
- 根据微纳米三维测量的发展和研究现状,首先归纳了三维微纳米测头的技术要求并进行分类,然后对国内外微纳米CMM测头的研究进展进行了介绍和比较,指出了各种类型测头需要解决的问题。针对这些测头的局限性,探讨了正在研究的新型三维谐振触发方法和触发测头。最后对微纳米三坐标测头的研究与开发趋势进行了总结和展望。
- 黄强先余惠娟黄帅钱剑钊
- 关键词：测头
- 石英音叉扫描探针显微镜被引量：7
- 2012年
- 石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜。首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析。通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性。另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力。
- 黄强先王毛翠赵剑王广红余惠娟
- 关键词：石英音叉扫描探针显微镜
- 基于PVDF的三维谐振触发测头
- 本实用新型公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型测头架的两侧，在压...
- 黄强先魏晋鹏余惠娟夏瑞雪史艳琼刘宁
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- 石英音叉三维谐振触发定位系统被引量：1
- 2013年
- 为实现对微器件等三维测量时在三维方向上任意单点的高精度触发定位,提出一种新型三维谐振触发定位系统。以石英音叉作为微力传感器,与一体式光纤微测杆测球相结合,利用其谐振参数(谐振振幅、谐振频率/谐振相位)对微力的高敏感性构建三维谐振触发测头。将该测头与三维纳米定位台、反馈控制模块、信号处理电路结合,分别构成完整的振幅反馈和相位反馈三维谐振触发定位系统。工作时驱动石英音叉测头处于谐振状态,检测顶端测球与试样表面接触微力引起的振幅变化或频率变化。测头顶端测球与试样表面在Z向以轻敲模式接触,在X、Y向以摩擦模式接触。实验结果显示:系统在X、Y、Z 3个方向的触发分辨力分别达到0.17 nm、0.20 nm、0.18 nm;三维重复性误差分别达到37.0 nm、70.6 nm、41.0 nm。实验结果验证了提出的三维谐振触发定位系统纳米量级精确定位的可行性和有效性。
- 余惠娟黄强先李志渤史科迪程真英
- 关键词：石英音叉谐振特性纳米
- 双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法
- 本发明公开了一种双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法，由支承架、转接件、双端音叉和光纤微探球构成。支承架用于固定整个测头机构。转接件分别固定于支承架下方的两端，用于连接支承架及双端音叉。双端音叉同时作为悬臂梁和...
- 余惠娟黄强先袁钰赵晓萌卞亚魁
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- 基于谐振模式的三维纳米测头触发方法研究
- 纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一，超精加工和超微加工进入纳米技术的新时代，MEMS、超精密光学器件等的特征尺寸微型化，对这些微纳米结构的真三维测量要求达到纳米、亚纳米量级，测量力达到微牛甚至纳牛量级。目前在数百微...
- 余惠娟
- 关键词：谐振模式
