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鲁君

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：西安理工大学自动化与信息工程学院更多>>
发文基金：博士科研启动基金国家自然科学基金陕西省教育厅科研计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子束照射
  • 1篇氧化硅薄膜
  • 1篇照射
  • 1篇空间电荷
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇二氧化硅薄膜

机构

  • 1篇西安理工大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇鲁君
  • 1篇张海波
  • 1篇李维勤

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
非聚焦电子束照射SiO_2薄膜带电效应被引量：5
2012年
采用考虑电子散射、俘获、输运和自洽场的三维数值模型,模拟了低能非聚焦电子束照射接地SiO_2薄膜的带电效应.结果表明,由于电子的迁移和扩散,电子会渡越散射区域产生负空间电荷分布.空间电荷呈现在散射区域内为正,区域外为负的交替分布特性.对于薄膜负带电,电子会输运至导电衬底形成泄漏电流,其暂态过程随泄漏电流的增加趋于平衡.而正带电暂态过程随返回二次电子的增多而趋于平衡.在平衡态时,负带电表面电位随薄膜厚度、陷阱密度的增大而降低,随电子迁移率、薄膜介电常数的增大而升高;而正带电表面电位受它们影响较小.
李维勤张海波鲁君
关键词：二氧化硅薄膜电子束照射空间电荷
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