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马建立

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国电子科技集团第十一研究所更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇液相
  • 2篇液相外延
  • 2篇液相外延生长
  • 2篇石墨
  • 2篇母液
  • 2篇布置方式

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇胡尚正
  • 2篇马建立
  • 2篇田震
  • 2篇周立庆

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法
本发明公开了一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法,所述石墨舟包括按照顺序从下到上布置的底托、滑条、母液槽、石墨片和上盖,其中,在滑条上设置有容纳衬底的多个衬底容纳部,使得衬底能够随着滑条沿石墨舟的纵向在底托内滑...
田震周立庆马建立胡尚正
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一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法
本发明公开了一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法,所述石墨舟包括按照顺序从下到上布置的底托、滑条、母液槽、石墨片和上盖,其中,在滑条上设置有容纳衬底的多个衬底容纳部,使得衬底能够随着滑条沿石墨舟的纵向在底托内滑...
田震周立庆马建立胡尚正
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共1页<1>
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