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马建立
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2
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供职机构:
中国电子科技集团第十一研究所
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合作作者
周立庆
中国电子科技集团第十一研究所
田震
中国电子科技集团第十一研究所
胡尚正
中国电子科技集团第十一研究所
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中国电子科技...
作者
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胡尚正
2篇
马建立
2篇
田震
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周立庆
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1篇
2015
1篇
2013
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一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法
本发明公开了一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法,所述石墨舟包括按照顺序从下到上布置的底托、滑条、母液槽、石墨片和上盖,其中,在滑条上设置有容纳衬底的多个衬底容纳部,使得衬底能够随着滑条沿石墨舟的纵向在底托内滑...
田震
周立庆
马建立
胡尚正
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一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法
本发明公开了一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法,所述石墨舟包括按照顺序从下到上布置的底托、滑条、母液槽、石墨片和上盖,其中,在滑条上设置有容纳衬底的多个衬底容纳部,使得衬底能够随着滑条沿石墨舟的纵向在底托内滑...
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