您的位置： 专家智库 > >

马云峰

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇非接触
  • 1篇非接触式
  • 1篇表面形貌

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇姚望
  • 1篇马云峰
  • 1篇程智锋
  • 1篇郑浩峻

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
高精度非接触式三维轮廓扫描仪设计被引量：2
2011年
三维轮廓扫描仪是广泛应用于微纳表面三维形貌测量的高精度设备。基于白光共焦测量技术,提出了非接触式三维轮廓扫描仪设计方案和工作原理。扫描仪由精密扫描工作台、测量系统、光学辅助系统及控制系统组成。试制的扫描仪样机垂直测量范围为(20～400)μm,分辨率10nm,水平测量范围(100×100)mm,分辨率小于1μm。实验表明,该扫描仪可实现二维轮廓曲线和三维形貌测量,具有精度高、非接触、测量快速和测量范围宽等特点,对于实现高精度非接触式三维轮廓测量具有较高的实用价值。
马云峰郑浩峻程智锋姚望
关键词：表面形貌
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0