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韦学勇

作品数：169 被引量：5H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金上海市浦江人才计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 160篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 35篇自动化与计算...
  • 26篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 5篇一般工业技术
  • 5篇理学
  • 4篇化学工程
  • 2篇建筑科学
  • 2篇医药卫生
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 47篇传感
  • 46篇感器
  • 46篇传感器
  • 29篇加速度
  • 20篇声表面波
  • 18篇微尺度
  • 17篇敏感元件
  • 15篇微流控
  • 15篇谐振
  • 13篇速度传感器
  • 13篇谐振器
  • 13篇加速度传感器
  • 13篇表面声波
  • 12篇电极
  • 12篇芯片
  • 11篇加速度计
  • 11篇分散相
  • 10篇激光
  • 8篇正弦
  • 8篇光电

机构

  • 169篇西安交通大学
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇南京理工大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇陕西应用物理...
  • 1篇郑州轻工业大...

作者

  • 169篇韦学勇
  • 88篇蒋庄德
  • 43篇赵玉龙
  • 31篇张国栋
  • 21篇任炜
  • 20篇任娟
  • 19篇王曙东
  • 17篇李博
  • 13篇李慧
  • 11篇张宏才
  • 10篇张蕊
  • 10篇翁寅生
  • 6篇杨磊
  • 6篇张方
  • 6篇张琪
  • 6篇赵友
  • 5篇刘振
  • 4篇李兵
  • 4篇赵惠英
  • 4篇黄峰

传媒

  • 1篇科技导报
  • 1篇液压与气动
  • 1篇自动化仪表
  • 1篇高压物理学报
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇中国科学：信...

年份

  • 15篇2023
  • 32篇2022
  • 29篇2021
  • 37篇2020
  • 20篇2019
  • 12篇2018
  • 13篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 169 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种利用表面声波声热效应进行细胞热裂解的装置
一种利用表面声波声热效应进行细胞热裂解的装置，包括微流控芯片，微流控芯片的上方设有高速相机和显微镜，微流控芯片信号输入通过功率放大器和信号发生器的输出连接，由信号发生器产生电信号，电信号通过功率放大器放大并传输到微流控芯...
韦学勇秦咸明金少搏刘振任娟蒋庄德
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基于静电预加载具有准零刚度特性的MEMS微重力传感器芯片
基于静电预加载具有准零刚度特性的MEMS微重力传感器芯片，包括单晶硅衬底，单晶硅衬底上生长二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上键合单晶硅结构层，单晶硅结构层中制作有MEMS加速度传感器芯片；MEMS加速度传感器芯片包括芯片框...
韦学勇段宇兴任子明赵明辉赵惠英蒋庄德
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一种微尺度火工品发火温度测量装置
一种微尺度火工品发火温度测量装置，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元及与铂微结构换能元连接的第一电极，第一电极作为铂微结构换能元的电压输入端；同时在铂微...
韦学勇张一中王馨晨赵玉龙张国栋刘元张蕊平川
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一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统
本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，解决了模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题，提高信号检测精度，同时适用范围广泛。包括：电压驱动信号单元用于输出两...
韦学勇李博赵明辉齐永宏蒋庄德
一种对细胞进行预处理的自动反应装置及方法
本发明公开一种对细胞进行预处理的自动反应装置及方法，该装置包括反应盒盒身、底座、盒盖和活塞；反应盒盒身中心设有中间腔；中间腔周围设置有七个腔；中间腔与周围七个腔之间对应设置有七个方形腔，其内放置有控制阀，通过上下移动来控...
韦学勇南浪李政苗保刚蒋庄德彭年才
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薄膜微结构换能元温度测量技术研究被引量：1
2022年
为了适应火工品微型化、集成化和智能化等发展趋势,薄膜微结构换能元的引发温度测试已成为一项亟需解决的关键问题。采用MEMS技术将薄膜铂电阻和薄膜微结构换能元集成在氮化硅基底上,利用原子力显微镜等设备对薄膜铂电阻的几何尺寸进行了表征,通过实验测量了薄膜微结构换能元在不同直流激励下铂电阻的阻值变化,从而得到了薄膜微结构换能元的温度响应曲线。此外,测得斯蒂芬酸铅的点火温度平均为318℃,与理论值330~350℃接近,验证了将薄膜铂电阻与薄膜微结构换能元集成于一体测量微小尺寸条件下发火温度的可行性与有效性。
张一中韦学勇张国栋赵玉龙平川张蕊任炜
关键词：薄膜铂电阻
一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法
一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法，包括同时置于刻蚀机的刻蚀腔中的耦合梁式谐振器和温度补偿传感器，耦合梁式谐振器和温度补偿传感器的刻蚀信号数据采集分别通过一个闭环振荡电路完成，两个闭环振荡电路将刻蚀信号数据发送至上位...
韦学勇任子明徐柳王曙东
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一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法
一种MEMS柔性锰铜‑康铜复合式超高压力传感器及其制造方法,复合式超高压力传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及其对应的四个第一电极，以及康铜敏感元件及其对应的四个第二电极，锰铜敏感元件的输入端和输出...
赵玉龙张国栋赵云韦学勇王馨晨任炜张蕊张方李慧
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一种声表面波调控的高通量微液滴生成装置及方法
一种声表面波调控的高通量微液滴生成装置及方法，装置包括叉指换能器，叉指换能器上制作有一个弧形叉指电极，叉指换能器上部键合有PDMS微流道系统，PDMS微流道系统由顶层PDMS流道、中层PDMS流道和底层PDMS流道键合形...
韦学勇金少搏
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一种基于参数泵的MEMS振荡器
本发明公开了一种基于参数泵的MEMS振荡器，低频谐振器模块通过低频谐振梁分别连接低频谐振器第一激励模块和低频谐振器第二激励模块；高频谐振器模块通过高频谐振梁分别连接高频谐振器第一激励模块和高频谐振器第二激励模块；共用梁模...
韦学勇徐宇涛徐柳阳琪琪王雪峰宦荣华蒋庄德
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