金晓英
- 作品数：13 被引量：9H指数：2
- 供职机构：华东理工大学更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学化学工程更多>>
- 连续与脉冲激光诱导气相反应制备超细粉被引量：3
- 1997年
- 用连续以及脉冲的CO2激光诱导三甲基氯硅烷的气相化学反应，制备SiC超细粉．脉冲激光以及高的激光功率密度有助于减少副反应，得到高纯度、圆形、粒度小而均匀，疏松不团聚的超细粉。
- 金桂林张兆奎金晓英石庆红陈鹏彬
- 关键词：激光超细粉碳化硅三甲基氯硅烷
- 聚丙烯酸甲脂的激光光降解
- 1991年
- 以 N^2激光(337.1 nm)辐照聚丙烯酸甲脂薄膜,用傅立叶变换红外光谱多次内反射法研究其激光光降解动力学,讨论了“弱键”、侧酯基劈裂、主链断裂以及交联反应。
- 金桂林潘孝仁金晓英金乾元赵涛
- 关键词：激光降解反应
- 激光诱导甲基丙烯酸甲酯本体聚合的研究
- 1990年
- 用TEA CO_2激光辐照室温下的甲基丙烯酸甲酯液相单体,观察到激光诱导的本体聚合反应,激光导致了三种类型的光降解。
- 金桂林金晓英金乾元潘孝仁吴国迎
- 关键词：激光诱导甲基丙烯酸甲酯
- 波长与功率密度对激光烧蚀制备纳米粒子的影响被引量：2
- 2005年
- 用TEA CO2激光烧蚀方法制备了NiSO4/Ni(Ac)2纳米粒子,其化学成分与靶材原料十分相似,其中含少量Ni2O3.当采用被靶材物质直接吸收的激光谱线9P(18)、9R(18)时,纳米粒子的保成分性较好,得到粒径10～20nm、分散性良好的圆形粒子,其功率密度阈值为1.6×108w/cm2,其反应机理主要是共振吸收以及激光支持爆轰波的作用;当采用不被靶材物质直接吸收的激光谱线10P(18)时,得到粒径为20～25nm、分散性良好的方形粒子,其功率密度阈值为1.9×108w/cm2,其反应机理主要是自聚焦和内爆轰的作用.当其它条件相同时,功率密度较大则粒子的粒度更细.
- 金桂林金晓英朱莉宋顺军
- 关键词：激光烧蚀波长功率密度
- 激光诱导光致抗蚀剂的固化反应被引量：1
- 1991年
- 用N_2激光337.1nm谱线辐照,能有效地引发顺酐型和环氧型不饱和聚酯树脂组成的光致抗蚀剂的固化反应。用付立叶交换红外光谱法跟踪反应动力学过程,并用溶解试验检验固化效果。讨论了反应转化率,反应速率与引发剂浓度的关系。
- 金桂林潘孝仁金晓英金乾元施善定
- 关键词：激光抗蚀剂
- 高灵敏度激光光致交联剂的研究
- 1999年
- 合成了具有不同分子骨架结构的二迭氮基芳香族化合物．它们的紫外吸收带发生红移，以它们为交联剂，与聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）以及光敏剂苯氧基二本甲酮（PB）构成光致抗蚀剂体系，在空气环境中，在氮分子激光辐照下进行交联反应。其中典型的PMMA－DDB－PB系统的光致交联反应速率为4．5×104mol·1-1·s-1；而PMMA－DDA系统的反应速率达23．0×104mol·1-1·s-1，曝光5．6μs时转化率达90％，表明DDA对于氮分子激光高度灵敏，可以同时起到光敏剂与交联剂的双重作用。
- 金桂林张兆奎金晓英蔡暄
- 关键词：光致抗蚀剂
- TEA CO_2激光波长与功率密度对于气相合成SiC超细粉的影响
- 1999年
- 用ＴＥＡ ＣＯ２ 激光的不同谱线辐照二甲基二氯硅烷与三甲基氯硅烷气体，只要激光功率密度超过相应的反应阈值，就都可以诱导气相化学反应，制得ＳｉＣ超细粉，其中与物质吸收带重合的入射激光谱线通过多光子吸收机理引发化学反应，而不被基态物质直接吸收的激光谱线则通过级联电离机制引发化学反应。二种反应的机制虽然不同，但由同种原料所得到的产物基本相同。而较高的激光功率密度有利于获得较纯的产物。因此。
- 金桂林金晓英张兆奎陈建华黄洪成
- 关键词：激光波长激光功率密度超细粉气相合成
- 耐反应离子刻蚀的紫外激光光致抗蚀剂的研究被引量：1
- 1994年
- 以芳香族双迭氮基化合物为交联剂，苯氧基二苯甲酮为光敏剂，聚甲基丙烯酸甲酯（ＰＭＭＡ）为基质树脂，合成了负型激光光致抗蚀剂。该体系能够在氮分子激光辐照下发生灵敏的光致交联反应，所生成的致密薄膜可以耐四氟化碳等离子体的反应离子刻蚀（ＲＩＥ）。用付里叶变换红外光谱法与紫外光谱法研究了激光光致交联反应以及反应离子刻蚀的动力学过程。讨论了影响反应速率以及刻蚀选择比的诸因素。
- 金桂林金晓英施善定蔡根寿黄均文
- 关键词：反应离子刻蚀光致抗蚀剂微电子学
- 激光烧蚀法制备NiSO_4/Ni(Ac)_2纳米粒子被引量：2
- 2003年
- 硫酸镍与乙酸镍的混合晶体经研磨成 2 μm的颗粒后 ,压制成直径为 10mm的薄片作为靶材 ,以TEACO2 激光辐照 ,得到粒度为 10至 2 0nm的NiSO4/Ni(Ac) 2 纳米粒子 ,其中含少量Ni2 O3 。气体产物为水和乙酸。激光功率密度为 10 8W .cm-2 量级。讨论了激光作用的机理。
- 金桂林金晓英陈建华黄洪成
- 关键词：激光烧蚀法硫酸镍
- 用基态透明的物质进行激光合成超细粉
- 2000年
- 用 TEA CO2 激光的被原料吸收或不被吸收的不同谱线辐照几种物质 ,如四甲基硅烷 ,三甲基氯硅烷 ,六甲基二硅胺烷等 ,比较其反应情况与产物的异同。认为对于振动基态透明的物质 ,可以由激光引发气体级联电离的机制生成高活性的低温等离子体从而诱发化学反应 ,同样可以合成超细粉 ,而不受物质吸光性的限制。因此激光方法的原料范围可大为拓宽。本文对影响这类反应和产物的诸因素如激光功率密度、外电场、稀释气体、原料分子的化学组成及电离电位等进行了讨论。
- 金桂林张兆奎金晓英陈建华沈伟
- 关键词：超细粉等离子体
