邵卫红
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究被引量：5
- 2014年
- 采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。
- 邵卫红杨甬英陈晓钰刘东沈亦兵
- 关键词：时域有限差分方法衍射光强
- 点衍射干涉检测系统光学结构参数优化及误差分析研究
- 光学技术的快速发展对光学系统质量或光学面形要求不断提高，而现有商用干涉仪的检测精度由于受到标准面加工的限制，其检测精度的均方根值(RMS)一般为λ/50～λ/100，无法达到更高的检测精度。针孔点衍射干涉检测技术作为一种...
- 邵卫红
- 关键词：光学检测点衍射干涉仪
- 文献传递
- 球面干涉检测中改进的调整误差校正方法
- 2012年
- 根据球面干涉检测中待测球面调整误差的高阶近似模型,提出新的基于泽尼克多项式拟合的球面调整误差校正方法.该方法根据测得原始面形数据的泽尼克多项式系数以及待测面数值孔径,得到调整误差所引入的低阶和高阶像差量,实现高精度球面调整误差校正.通过Zygo干涉仪及大数值孔径待测球面对提出的校正方法进行实验验证,校正精度达到了均方根值近0.001λ、峰谷值0.011λ.实验结果表明,该方法可以实现很高的球面调整误差校正,无需了解实际调整误差量,便于自动化处理,可以降低检测装置中对待测面调节机构精度的要求.
- 王道档杨甬英邵卫红陈晓钰
- 关键词：光学检测球面大数值孔径
- 高精度球面检测中调整误差的精确校正被引量：2
- 2013年
- 针对高精度球面检测中球面的调整误差影响,分别研究了波前离焦和倾斜所引入的Zernike像差项,并以此为基础,提出了基于Zernike系数的高精度球面调整误差校正方法.利用Zygo干涉仪对大数值孔径的待测球面进行了检测,实验中对待测球面同时引入波前离焦和倾斜误差,再分别运用所提出的校正方法和传统的消倾斜离焦校正方法得到波面数据并进行对比,进而验证了所提出的校正方法的可行性.实验结果表明,利用该方法可有效地校正大数值孔径球面存在调整误差时所引入的球面像差,并且实验中的校正精度达到了0.002λ(λ为检测光波长).提出的基于Zernike系数的球面调整误差校正方法可降低对于调节机构的精度以及检测人员的经验要求,在高精度球面检测中具有非常高的实际应用价值.
- 王道档杨甬英陈晓钰邵卫红卓永模
- 基于差分方法的高精度球面调整误差校正被引量：3
- 2013年
- 针对高精度球面检测中待测球面调整误差所引入的高阶像差影响,提出了一种基于差分方法的高精度调整误差校正方法。通过对待测球面分别引入两个不同的波前离焦量,对测得的波面数据取差分,由此得到测量中调整误差所引入的高阶像差,并将其从面形数据中分离出来,进而实现高精度的球面调整误差校正。通过Zygo干涉仪对提出方法的可行性进行了实验验证,并给出了实验结果。测量中,对大数值孔径待测球面同时引入波前离焦和倾斜,运用本文方法实现调整误差的校正精度达到了均方根(RMS)为0.001 5λ和峰谷(PV)为0.018 9λ。本文方法无需了解检测系统或待测球面的任何先验信息,并可有效降低对待测球面调整的要求,在实际的高精度球面检测中有很好的适用性。
- 王道档杨甬英陈晓钰邵卫红
- 关键词：光学检测球面
