边惠
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：温州大学物理与电子信息学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程一般工业技术更多>>
- 表面粗糙化来提高SiO2中纳米硅的拉曼强度
- 2011年
- 本文采用表面粗糙化的方法,在拉曼背散射配置下观察到SiO2中注入硅离子形成纳米硅的拉曼散射特征峰.运用声子限制模型对纳米硅的特征峰进行曲线拟合,得到纳米硅的平均晶粒尺寸是2.6nm.这个结果与透射电子显微镜直接观测的纳米硅尺寸非常符合.以上研究表明,表面粗糙化是一个非常有效的方法来提高拉曼散射强度,从而方便地研究纳米硅的拉曼特征,不会对纳米硅的物理性质发生影响.
- 张有为毕大炜公祥南边惠万里唐东升
- 关键词：纳米硅拉曼散射
- 低k介质多孔SiO_2干凝胶薄膜的温度效应研究
- 2013年
- 采用正硅酸乙酯(TEOS)作为Si源,利用溶胶–凝胶旋涂法制备了多孔SiO2干凝胶薄膜,测试分析了200,300和400℃退火后样品的不同特性。研究了退火温度对多孔SiO2干凝胶低k薄膜的化学性质、物理性质和电学性能的影响。结果表明在400℃的退火温度下所制备的薄膜具有最佳性能:其厚度和折射率均达到最小值,分别为156 nm和1.31;孔隙度和均方根粗糙度均达到最大值,分别为33%和2.01 mm,并获得最低的相对介电常数(k=2)和最小的泄漏电流。
- 边惠万里
- 关键词：低介电常数干凝胶温度效应多孔薄膜泄漏电流
