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茅小海

作品数:2 被引量:2H指数:1
供职机构:浙江工业大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇人机
  • 1篇人机界面
  • 1篇自动控制
  • 1篇自动控制系统
  • 1篇控制系统
  • 1篇PID控制
  • 1篇AMESIM
  • 1篇P-

机构

  • 2篇浙江工业大学

作者

  • 2篇茅小海
  • 1篇黄洁
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
LZP-9BC双面研磨抛光机的自动控制系统的研制
由于超精密研磨抛光设备是硅晶片获得超平滑无损伤表面的主要手段,所以双面抛光加工设备的研制受到了超精密加工研究领域和光电子材料生产加工企业的广泛关注与重视,并取得了丰硕的成果。  影响抛光精度的一个主要因素是抛光压力,双面...
茅小海
关键词:人机界面PID控制
文献传递
双面抛光机气动加载的建模与仿真被引量:2
2011年
双面抛光机广泛用于硅片、蓝宝石、陶瓷、磁性材料、电子器材的表面超光滑无损伤的平整加工。气动加载系统是双面抛光机实现精密抛光非常关键的部分。抛光压力加载精度的高低直接决定了抛光机性能的好坏。本文利用法国AMESim软件对气动加载系统进行建模,通过仿真得出了一组最佳PID参数,满足了系统要求,并使系统性能得到提高。
茅小海李伟黄洁
关键词:AMESIM
共1页<1>
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