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茅小海
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
浙江工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
李伟
浙江工业大学机电工程学院
黄洁
浙江工业大学机电工程学院
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P-
机构
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浙江工业大学
作者
2篇
茅小海
1篇
黄洁
1篇
李伟
传媒
1篇
新技术新工艺
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1篇
2013
1篇
2011
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2
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LZP-9BC双面研磨抛光机的自动控制系统的研制
由于超精密研磨抛光设备是硅晶片获得超平滑无损伤表面的主要手段,所以双面抛光加工设备的研制受到了超精密加工研究领域和光电子材料生产加工企业的广泛关注与重视,并取得了丰硕的成果。 影响抛光精度的一个主要因素是抛光压力,双面...
茅小海
关键词:
人机界面
PID控制
文献传递
双面抛光机气动加载的建模与仿真
被引量:2
2011年
双面抛光机广泛用于硅片、蓝宝石、陶瓷、磁性材料、电子器材的表面超光滑无损伤的平整加工。气动加载系统是双面抛光机实现精密抛光非常关键的部分。抛光压力加载精度的高低直接决定了抛光机性能的好坏。本文利用法国AMESim软件对气动加载系统进行建模,通过仿真得出了一组最佳PID参数,满足了系统要求,并使系统性能得到提高。
茅小海
李伟
黄洁
关键词:
AMESIM
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