范晓萌
- 作品数：3 被引量：12H指数：1
- 供职机构：江苏大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 基于局域场加强的近场纳米加工技术
- 介绍了一种全新的基于飞秒激光局域场加强效应的纳米加工技术，通过使用了微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射于原子力显微镜的探针针尖，利用其局域场加强效应在金薄膜表面加工出各种纳米图形。对加工参数对加工线宽...
- 言峰周明范晓萌张伟
- 关键词：飞秒激光原子力显微镜纳米加工技术加工参数金属薄膜
- 文献传递
- AFM针尖耦合激光加工PMMA薄膜的加工重复性
- 2010年
- 利用飞秒激光与原子力显微镜的针尖部分耦合进行加工,是有望突破衍射极限,实现多隧道结加工的技术。本文在室温大气环境下,利用微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射镀有金薄膜的原子力显微镜的探针针尖,使其耦合产生局域场加强效应在PMMA薄膜表面加工出光栅状纳米图形。通过最大残差法计算了条纹高度和宽度的重复性百分比,计算得到高度和宽度的最大残差值分别为6.3%和2.9%。结果表明在文中所提供的加工条件下,原子力显微镜针尖耦合激光是一种有潜力的激光加工方法。
- 周明范晓萌言峰李健王静静蔡兰
- 关键词：飞秒激光AFMPMMA
- 飞秒激光辐射诱导金属表面微纳结构研究被引量：12
- 2009年
- 通过1 kHz的飞秒脉冲(脉宽130 fs,中心波长800 nm)对厚度为60μm的不锈钢65Mn表面进行飞秒微加工,通过拟合得到65Mn的消融阈值为0.5 J.cm-2。研究了飞秒激光作用下表面形成的多种微结构,其中包括纳米孔及纳米柱状物。同时讨论了激光能量和作用脉冲个数对微结构形成的影响。随着周期波纹结构的形成,发现在各种能量和脉冲个数条件下,周期结构的周期约为入射脉冲的波长。相同的激光功率下,在不同加工速度和加工次数下对不锈钢进行表面微加工,得到了规则的圆孔阵列结构。
- 周明袁冬青李健范晓萌戴娟沈坚王辉李保家蔡兰
- 关键词：飞秒激光微加工表面形貌
