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相炳坤: 作品数：41 被引量：71H指数：6; 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>; 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金江苏省普通高校研究生科研创新计划项目更多>>; 相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术化学工程更多>>

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一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统: 一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统，属热丝阵列电极装置领域。它由一个固定电极系统和一个依靠弹簧、导轨使热丝阵列保持平直的移动电极系统组成。两个电极系统的钼电极都是分别由上、下钼电极及铜管组成的，它们分别夹紧热丝...; 相炳坤左敦稳黎向锋徐锋卢文壮闫静; 文献传递

大面积EACVD金刚石沉积设备的研究被引量：17: 2003年; 详细介绍了EACVD法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备包括机械系统和电气系统。设备的运行情况表明,该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石厚膜直径达Φ200mm,涂层面积达(330×330)mm2,膜沉积速率为(4～20)μm/h。; 卢文壮左敦稳王珉黎向锋宋胜利相炳坤; 关键词：金刚石膜 EACVD 机械系统电气系统

从专利文献分析金刚石涂层工具技术进展被引量：1: 2009年; 本文采集1975年到2008年金刚石涂层工具技术1100多件世界专利文献,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量、定性和引证分析。分析表明:(1)在生长工艺、设备及膜/基结合力等技术方面都已比较成熟,金刚石涂层工具已处于产业化阶段,国内外已有批量产品销售;(2)美日等国不仅重视该技术的基础研究和应用基础研究,而且更重视原创技术开发和知识产权的保护;而我国明显表现出严重的重论文轻专利现象;(3)美日等国绝大多数专利为公司开发,原创性专利多,申请量大,实施率较高;而我国大学申请多,企业申请少,专利的实施率较低。我国研发机构应规划适当专利战略,加强研发机构整合,提高专利的授权量,多申请外国专利。; 相炳坤左敦稳黎向锋; 关键词：专利数据库专利战略

一种多炬等离子体喷射CVD法沉积超硬膜的方法及装置: 本发明公开了一种多炬等离子体喷射CVD法沉积超硬膜的方法及装置，该装置包括炬电源、引弧电源、反应气体供给系统、抽气系统、冷却水系统、真空反应室、多个等离子体炬和设于各等离子体炬正下方的各水冷基底支撑台；各等离子体炬分别固...; 相炳坤李文帅朱其豹徐锋左敦稳; 文献传递

衬底表面处理对燃烧焰法沉积金刚石膜成核密度的影响被引量：2: 1995年; 研究了衬底表面不同处理对燃烧焰法沉积金刚石成核密度的影响，发现用硬微粉（金刚石，碳化硅）对衬底的刻划，能明显地提高成核密度，在衬底表面涂覆机械泵油或先沉积薄类金刚石层也能显著提高成核密度。成核密度的提高有利于生长出连续金刚石膜。; 相炳坤江关辉; 关键词：金刚石膜

用于抛光拉丝模具入口区、出口区的抛光机: 本实用新型公开了用于抛光拉丝模具入口区、出口区的抛光机，主要由抛光机底座；抛光机箱体；以及设置在抛光机箱体内部由电机、皮带、联轴器、离合器、轴、皮带轮组成的传动装置；以及设置在抛光机箱体前表面的夹紧装置；以及设置在箱体前...; 周思浩解晖王仕杰相炳坤; 文献传递

一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统: 一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统，属热丝阵列电极装置领域。它由一个固定电极系统和一个依靠弹簧、导轨使热丝阵列保持平直的移动电极系统组成。两个电极系统的钼电极都是分别由上、下钼电极及铜管组成的，它们分别夹紧热丝...; 相炳坤左敦稳黎向锋徐锋卢文壮闫静; 文献传递

甲烷浓度对等离子喷射金刚石厚膜生长稳定性的影响被引量：8: 2005年; 采用高功率直流电弧等离子体CVD工艺制备了不同厚度的无裂纹自支撑金刚石厚膜.实验中观察到在金刚石厚膜生长过程中出现了形貌不稳定性,其程度随甲烷浓度的不同而变化.从理论和实验两个方面对这种不稳定性进行了讨论,认为直流电弧等离子体的高温造成碳源高饱和度是生长不稳定性的根本原因.实验结果表明,在沉积金刚石厚膜时,为了稳定地获得高质量的厚膜,甲烷浓度不宜过高.; 陈荣发左敦稳李多生相炳坤赵礼刚王珉; 关键词：化学汽相沉积

GENETIC OPTIMIZATION OF HOT FILAMENT PARAMETERS IN HFCVD SYSTEM: 2003年; In HFCVD system the substrate temperature is a key factor which deeply affects the quality of diamond films. Th e magnitude and the variation of the substrate temperature must be limited in a suitable range to deposit diamond films of uniform thickness over large areas. In this paper, the hot filament parameters are investigated on the basi s of GAs to realize a good substrate temperature profile. Computer simulations d emonstrate that on parameters optimized by GAs a uniform substrate temperatur e field can be formed over a relatively large circle area with R s=10 cm.; 宋胜利左敦稳王珉相炳坤卢文壮黎向锋