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盛明裕
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3
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供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系
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发文基金:
上海市教育委员会创新基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
赵源
复旦大学信息科学与工程学院光科...
刘富强
上海商学院
周薇溪
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复旦大学信息科学与工程学院光科...
胡巧多
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分光谱太阳能光电转换系统研究
赵源
盛明裕
周薇溪
郑玉祥
陈良尧
等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO_2纳光子薄膜
2011年
SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅助功率)的变化规律,获得了薄膜的机械、化学和光学性能优于传统方法的纳光子薄膜工艺制备条件.
盛明裕
赵源
刘富强
胡巧多
郑玉祥
陈良尧
关键词:
等离子体辅助
电子束蒸发
光频电磁波在薄膜结构中传播的空间干涉现象研究及应用
信息技术正在经历从电子学、光电子学到光子学的发展。随着社会文明的发展,人们对信息量的需求呈现爆炸性增长的趋势,迫切需要提高荷载信息的容量和加快处理信息的速度。以光子或光波代替电子或电磁波作为信息的载体是高速率和大容量现代...
盛明裕
关键词:
等离子体辅助
电子束蒸发
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