王兴妍
- 作品数：27 被引量：55H指数：6
- 供职机构：北京邮电大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信核科学技术更多>>
- 低温晶片键合技术及在通信光电子器件中的应用被引量：8
- 2004年
- 简单介绍了晶片键合的基本原理,指出了实现低温晶片键合的必要性;通过对比低温晶片键合技术的实现方式及其在通信光电子器件中的应用,指明表面改性是实现低温晶片键合的最有效手段。
- 王琦黄辉王兴妍陈斌黄永清任晓敏
- 关键词：晶片键合光电子器件通信
- 集成液晶可调谐RCE光电探测器的实验研究被引量：7
- 2002年
- 实现了波长调谐范围为 8nm的集成液晶可调谐谐振腔增强型 (RCE)光电探测器 ,并且对相应的实验结果进行讨论。这种器件可用在波分复用 (WDM)
- 黄辉成步文黄永清王兴妍王琦任晓敏
- 关键词：波分复用RCE光电探测器液晶调谐谐振腔增强型
- 新型长波长InP基谐振腔增强型光探测器被引量：4
- 2004年
- 介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型(RCE)光探测器。通过V(FeCl3):V(H2O)溶液对InGaAs牺牲层的选择性湿法腐蚀,制备出具有InP/空气隙的高反射率分布布拉格反射镜(DBR),并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强型光探测器的制备中去,从而彻底解决了InP/InGaAsP高反射率分布布拉格反射镜难以外延生长的问题。所制备出的谐振腔增强型光探测器,其台面面积为50μm×50μm,底部反射镜为1.5对的InP/空气隙分布布拉格反射镜,顶部反射镜靠InGaAsP与空气的界面反射来实现。测试结果表明,该谐振腔增强型光探测器在波长1.510μm处获得了约59％的峰值量子效率,在3V反偏压下暗电流为2nA,3dB响应带宽达到8GHz。
- 王琦黄辉王兴妍黄永清任晓敏
- 关键词：光电子学谐振腔增强型光探测器空气隙
- GaAs/InP直接键合技术的研究
- 将硫脲溶液用于 GaAs/InP 基材料低温晶片键合的表面处理工艺，在国内首次实现了GaAs/InP 基材料间简单、无毒性的低温（380℃）晶片键合。并通过界面形貌，解理后断裂面，键合强度及键合界面 I-V 特性对键合晶...
- 王兴妍黄辉王琦任晓敏黄永清高俊华
- 关键词：表面处理
- 文献传递
- 基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器被引量：8
- 2004年
- 报道了一种长波长的 In P基谐振腔 (RCE)光电探测器 .采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结构的反射镜引入 RCE光电探测器 .制备的器件在波长 1.5 10 μm处获得了约 5 9%的峰值量子效率 ,以及 8GHz的 3d B响应带宽 ,其中器件的台面面积为 5 0 μm× 5 0 μm.
- 黄辉王兴妍王琦黄永清任晓敏高俊华张胜利刘宇祝宁华马骁宇杨晓红吴荣汉
- 关键词：谐振腔增强型光电探测器长波长空气隙选择性湿法刻蚀
- 用于WDM的新型集成解复用接收器件的研究
- 任晓敏黄永清黄辉刘凯王琦王兴妍崇英哲雷蕾
- 该课题是国家自然科学基金资助项目(69976007)。解复用接收器件是波分复用系统与全光网络中的关键器件之一。目前普遍采用的实现方法是“解复用器(或滤波器)+光电探测器”的分立器件组合方式。这种组合方式成本较高；探测器的...
- 关键词：
- 关键词：用于WDM波分复用系统光电探测器
- HCl/HF/CrO_3溶液对InGaAs/InGaAsP的选择性湿法刻蚀——应用于楔形结构的制备被引量：1
- 2005年
- 利用动态掩膜湿法腐蚀技术,研究了HCl/HF/CrO3溶液对与InP衬底晶格匹配的InxGa1-xAs1-yPy(y=0,0.2,0.4,0.6)材料的腐蚀特性.对于HCl(36wt%)/HF(40wt%)/CrO3(10wt%)的体积比为x∶0.5∶1的溶液,随着x由0增加到1.25,相应的腐蚀液对In0.53Ga0.47As/In0.72Ga0.28As0.6P0.4的选择性由42.4降到1.4;通过调节腐蚀液的选择性,在In0.72Ga0.28As0.6P0.4外延层上制备出了倾角从1.35°到35.9°的各种楔形结构;当x为0.025和1.25时,相应的In0.72Ga0.28As0.6P0.4腐蚀表面的均方根粗糙度分别为1.1nm和1.6nm.还研究了溶液的组分与InxGa1-xAs1-yPy(y=0,0.2,0.4)的腐蚀速率间的关系,并对腐蚀机理进行了分析.
- 黄辉王兴妍任晓敏王琦黄永清高俊华马晓宇
- 关键词：刻蚀INGAASPINGAAS
- 新型光电探测器的研究
- 针对RCE光电探测器存在的问题提出两种解决方案.将InP/空气隙的分布布拉格反射镜(DBR)结构引入RCE光探测器,解决了长波长反射镜制备问题.所制备的器件,在波长1.585μm处茆 约54.5﹪的峰值量子效率,以及8G...
- 王兴妍黄辉王琦黄永清任晓敏
- 关键词：RCE光电探测器长波长空气隙量子效率谐振腔
- 文献传递
- Ⅲ-Ⅴ族半导体晶片键合热应力分析被引量：6
- 2005年
- 利用结构力学模型并且结合有限元方法,分析了InP/GaAs晶片键合时界面热应力的分布情况,理论分析结果和有限元结果一致,实验也证实了分析结果。最后详细讨论了减小晶片键合热应力的有关因素,对在热处理时提高晶片的键合质量提供一定的理论参考。
- 陈斌王兴妍黄辉黄永清任晓敏
- 关键词：热应力剥离应力应变能晶片键合
- 用于光波分复用系统的高性能解复用接收器件被引量：2
- 2004年
- 对用于光波分复用(OWDM)系统的高性能解复用接收器件———高性能光探测器的研究作了介绍和分析。这类器件需要同时具备高速、高量子效率、超窄光谱响应线宽的性能。为适应OWDM网络的灵活性、智能化和系统集成化的需要,器件还需具备宽带可调谐的性能。这类器件主要有普通谐振腔增强型(RCE)光探测器、四镜三腔型RCE光探测器、一镜斜置三镜腔光探测器、外腔可调谐RCE光探测器、液晶可调谐RCE光探测器、微机械可调谐RCE光探测器及采用InP 空气隙反射镜的长波长RCE光探测器等器件。本文重点介绍了其中部分器件的研究。
- 黄永清黄辉王兴妍王琦崇英哲任晓敏
- 关键词：光纤通信光波分复用光探测器谐振腔增强型光探测器解复用
