熊斌
- 作品数：53 被引量：34H指数：4
- 供职机构：中国科学院广州能源研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
- 本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体呈45度角，周围被气氛介质包围，一端固支，另一端与基体两点相连。它又可分为分立型和单腐蚀孔型二种，前者是独立的腐蚀孔结构，...
- 徐峥谊熊斌王跃林
- 文献传递
- 集成光开关及阵列尽展风采
- 2000年
- 李铁熊斌
- 关键词：微电子机械系统光通信光电器件
- 基片温度对磁控溅射沉积二氧化硅的影响被引量：2
- 2012年
- 本文详细地研究了基片温度对磁控溅射沉积二氧化硅的影响,随着基片温度的增加,溅射沉积速率下降明显,薄膜的折射率也出现上升趋势,薄膜也由低温时的疏松粗糙发展为致密光滑。250℃时的溅射沉积速率仅为室温时的1/3,由此,针对间歇式在大面积玻璃上沉积二氧化硅薄膜,我们采取了沉积完ITO薄膜后,先快速降温,再沉积二氧化硅的工艺。
- 熊斌徐刚史继富
- 关键词：基片温度沉积速率折射率
- 栅型结构电容式微机械谐振陀螺
- 本实用新型是涉及一种尺寸在毫米量级的栅型结构电容式微机械谐振陀螺,主要由静电驱动电极、电容检测电、栅型结构驱动质量块与检测质量块、支撑质量块的悬空弹性折叠梁和限位锚点构成。其中质量块可以在平面上运动。因对惯性质量块振动的...
- 熊斌王跃林李宝清陆德仁王渭源
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- 微机械热电堆红外探测器的制造方法
- 熊斌
- 该发明介绍了一种新的制作微机械热电堆红外探测的方法。采用新的正面光刻工艺，制造出周围用空气层减小热耗散的悬臂结构，且应用绝缘体上单晶硅材料，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来...
- 关键词：
- 关键词：红外探测器微型机械热电堆
- 一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法
- 一种用于微机械器件制作的玻璃/硅键合装置,主要由探针电极工作台、显微镜、CCD及监视器组件,硅片加热工作台及玻璃片定位工作台四部分组成,实施在玻璃/硅片受热膨胀变形均匀稳定后进行对准并同时键合,使键合对准精度达到1微米的...
- 熊斌车录锋王跃林
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- 一种内聚光热管式真空集热管
- 本实用新型公开了一种内聚光热管式真空集热管，其包括玻璃外管、热管和反光层，所述热管套装于玻璃外管内且二者同轴，热管和玻璃外管之间形成真空，热管内充装有工质，所述热管包括玻璃蒸发段以及与该玻璃蒸发段封装在一起的金属冷凝段，...
- 徐刚史继富王雷雷熊斌
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- 一种彩色智能调光聚乙烯醇缩丁醛膜及其夹胶玻璃的制备方法
- 本发明公开了一种彩色智能调光聚乙烯醇缩丁醛膜和彩色智能调光聚乙烯醇缩丁醛夹胶玻璃的制备方法。本发明彩色智能调光性能的PVB膜不需要任何粘结剂和额外的工艺即可成型于玻璃之上，一次成型，极大的简化了制备工艺，进而降低了智能玻...
- 徐刚肖秀娣史继富熊斌
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- 硅-金属热堆结构及性质研究
- 卢建国熊斌林成鲁
- 关键词：多晶硅热堆半导体传感器
- 一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置
- 本发明公开了一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，包括工作平台，工作平台上设有进料区、工作区和下料区；还包括传输机构，传输机构贯通整个进料区、工作区和下料区；在工作区内，所述工作平台上设有热处理室和若干个真空室；...
- 徐刚詹勇军熊斌黄华凛孙耀明
- 文献传递
