您的位置： 专家智库 > >

游侠飞

作品数：2 被引量：8H指数：2
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇MEMS加速...
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇热应力
  • 1篇热应力分析
  • 1篇微机电系统
  • 1篇温度场
  • 1篇温控
  • 1篇温控系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇残余应力
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇浙江大学

作者

  • 2篇游侠飞
  • 1篇吴昌聚
  • 1篇金仲和
  • 1篇郑阳明

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
基于有限元法的MEMS加速度计热应力分析被引量：6
2012年
残余应力对MEMS器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响。基于MEMS电容式加速度计,采用热结构耦合场分析方法,对热应力的影响进行了仿真分析,并和实验结果进行比较。结果表明热应力不是影响器件性能的主要因素,而仿真模型中未考虑到的一些物理因素和工艺误差则可能是主要因素。针对课题组加速度计的制备过程从工艺的角度提出了相应的改进措施,为加速度计温度补偿模型的完善以及改版设计提供参考。
游侠飞吴昌聚郑阳明金仲和
关键词：MEMS有限元法电容式加速度计热应力
MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究
加速度计是一种重要的惯性传感器,它被广泛地运用在惯性导航、消费电子、汽车电子和地质勘探等关乎国计民生的各个领域。电容式MEMS加速度计具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点,从而得到了广泛的应用。　　 本论文着眼于...
游侠飞
关键词：微机电系统加速度计温控系统
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0