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段立峰

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 6篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 15篇光刻
  • 15篇光刻机
  • 13篇像差
  • 12篇波像差
  • 11篇投影物镜
  • 11篇物镜
  • 9篇主成分
  • 5篇定心
  • 5篇光强
  • 4篇掩模
  • 2篇对称型
  • 2篇噪声
  • 2篇噪声标准
  • 2篇照明
  • 2篇位置估计
  • 2篇物理仿真
  • 2篇相移掩模
  • 2篇滤波
  • 2篇滤波方法
  • 2篇仿真

机构

  • 19篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 19篇段立峰
  • 18篇王向朝
  • 14篇徐东波
  • 11篇彭勃
  • 10篇闫观勇
  • 7篇杨济硕
  • 2篇王渤帆
  • 2篇步扬
  • 2篇毕群玉
  • 2篇邱自成
  • 2篇黄炳杰
  • 2篇袁琼雁
  • 2篇曹宇婷
  • 1篇李思坤
  • 1篇戴凤钊
  • 1篇李中梁
  • 1篇马明英
  • 1篇王帆
  • 1篇唐锋
  • 1篇何乐

年份

  • 2篇2014
  • 5篇2013
  • 5篇2012
  • 5篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
文献传递
光刻机空间像噪声评估及滤波方法
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本...
徐东波王向朝彭勃闫观勇段立峰
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基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法
一种基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法，该方法通过安装在工件台上的图像传感器测量具有不同方向取向的掩模标记对应的空间像光强分布，之后通过标定好的灵敏度矩阵计算得到投影物镜波像差。灵敏度矩阵可利用光刻物理仿真软件进...
段立峰王向朝徐东波
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基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法
一种自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法，首先采集待测空间像，然后得到与待测空间像对应的主成分和回归矩阵，并对主成分插值。待测空间像裁剪之后，经过粗定心流程，待测空间像位置估计值判断流程和精定心流程得到待测空间像对应...
闫观勇王向朝杨济硕徐东波段立峰
光刻机投影物镜大像差检测方法
一种光刻机投影物镜大像差检测方法。该方法采用多级Box-Behnken Design抽样方法，并通过空间像主成分分析实现对光刻投影物镜大波像差的检测。本发明方法在像差幅值大于0.1λ时，能够使像差的检测精度提高30％以上...
段立峰王向朝徐东波
光刻机空间像噪声评估及滤波方法
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本...
徐东波王向朝彭勃闫观勇段立峰
自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法
一种自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法，首先采集待测空间像，然后得到与待测空间像对应的主成分和回归矩阵，并对主成分插值。待测空间像裁剪之后，经过粗定心流程，待测空间像位置估计值判断流程和精定心流程得到待测空间像对应...
闫观勇王向朝杨济硕徐东波段立峰
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基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法，通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心，然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵，再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵，最后利用主成份矩阵和回归矩阵求解实测空间...
杨济硕王向朝步扬彭勃段立峰
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平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法
一种平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法，所述平移对称标记由X方向平移对称光栅标记和Y方向平移对称光栅标记组成，该平移对称型光栅标记的一个周期的结构是：每一个周期由平行的依次的无间隔排列的10个具有一定宽度的线...
邱自成王向朝袁琼雁毕群玉彭勃段立峰黄炳杰曹宇婷王渤帆
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