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杨晓妍

作品数：8 被引量：16H指数：3
供职机构：长春光学精密机械学院光学物理系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文期刊文章

领域

  • 8篇电子电信

主题

  • 8篇激光
  • 8篇激光器
  • 7篇半导体
  • 7篇半导体激光
  • 7篇半导体激光器
  • 6篇腔面
  • 6篇激光器腔面
  • 5篇谐振腔
  • 4篇高反射膜
  • 3篇砷化镓
  • 3篇减反射膜
  • 2篇镀膜技术
  • 2篇AU
  • 2篇GAALAS
  • 2篇GAAS
  • 1篇氧化硅
  • 1篇涂层
  • 1篇欧姆接触
  • 1篇外延层

机构

  • 5篇长春光机学院
  • 3篇长春光学精密...
  • 2篇中国科学院长...

作者

  • 8篇杨晓妍
  • 2篇刘杰
  • 1篇杨莲
  • 1篇王玉霞

传媒

  • 3篇光学精密工程
  • 2篇半导体技术
  • 2篇长春光学精密...
  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇1997
  • 2篇1996
  • 5篇1995
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
GaAs外延层蒸镀Cr和Au膜制作欧姆接触工艺被引量：1
1995年
目前国内外在各种金属上电镀、蒸镀Ｃｒ或Ｃｒ、Ａｕ，是因为Ｃｒ耐磨损、抗腐蚀，与稀酸作用缓慢，与被镀件结合力强．有力地保护被镀件，提高被镀件的使用寿命。外延后的ＧａＡｓ衬底解理成激光器之前，要进行光刻，把镀在Ｐ型ＧａＡｓ外延片刻沟糟处的Ｃｒ去掉。本文介绍在ＧａＡｓ激光器的Ｐ型外延层上蒸镀Ｃｒ和Ａｕ的工艺及去除Ｃｒ的新工艺。
杨晓妍
关键词：欧姆接触半导体激光器砷化镓
半导体激光器减反射膜的涂镀
1996年
通过对GaAlAs激光器谐振腔前腔面涂镀SiO工艺,分析涂层特性,透射率由无膜时的69%提高到92%,提高激光输出功率和工作寿命。
杨晓妍刘杰
关键词：激光器减反射膜谐振腔半导体激光器
GaAlAs激光器腔面减反射涂层被引量：4
1995年
通过对波长９１０ｎｍＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ激光器谐振腔面蒸镀ＺｒＯ２膜的工艺过程，从理论和实验上分析了涂层特性，透射率由无膜时６２％提高到蒸镀膜后的９４％以上，提高了激光器的激光输出功率和工作寿命，对器件端面起到了保护作用。
杨晓妍
关键词：激光器半导体激光器减反射膜镀膜技术谐振腔
半导体激光器腔面全介质涂层的研究被引量：3
1995年
通过对ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ激光器谐振腔前、后腔面蒸镀２ｒＯ＿２和ＺｒＯ＿２、ＭｇＦ＿２的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率、反射率分别由无膜时的６８％、３２％，镀膜后提高到９４％、９５．０％以上，提高了激光输出功率和工作寿命，保护了器件端面。
杨晓妍
关键词：减反射膜高反射膜半导体激光器腔面
半导体激光器腔面SiO、Au涂层的研究被引量：2
1996年
通过在ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ激光器前后腔面蒸镀ＳｉＯ减反射膜和ＳｉＯ、Ａｎ高反射膜的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，反射率、透射率由无膜时的３２％、６８％提高到９４％以上，提高激光输出功率和工作寿命。
杨晓妍
关键词：激光器高反射膜氧化硅涂层砷化镓
GaAs半导体激光器腔面高反射涂层的研究被引量：5
1997年
通过对ＧａＡｓ激光器谐振腔后腔面蒸镀ＳｉＯ、Ａｕ高反射膜工艺过程，分析涂层特性。反射率由无膜时的３２％，提高到９４％以上，保护了器件端面，降低阈值电流，提高激光输出功率和工作寿命。
杨晓妍刘杰
关键词：激光器谐振腔高反射膜砷化镓半导体激光器
GaAlAs激光器腔面减反射涂层的研究
1995年
通过对波长９１０ｎｍＧａＡｓ－ＧａＡｌＡｓ激光器谐振腔面蒸镀ＺｒＯ＿２膜的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率由无膜时６２％提高到９４％以上，提高了激光输出功率和工作寿命，对器件端面起到了保护作用。
杨晓妍
关键词：谐振腔镀膜技术半导体激光器
半导体激光器腔面高反射涂层的研究被引量：7
1995年
通过对GaAs－GaAlAs激光器谐振腔后腔面蒸镀ZrO2，MgF2工艺过程，从|理论和实验上分析涂层特性，反射率由无膜时的32％，镀膜后提高到92．5％。保护了器件端面，降低问值电流，提高了激光输出功率和工作寿命。
杨晓妍杨莲王玉霞
关键词：高反射膜谐振腔半导体激光器
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