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文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇真空蒸镀
  • 2篇蒸发舟
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 2篇磁传感器
  • 1篇低功耗
  • 1篇电子水表
  • 1篇电阻
  • 1篇水表
  • 1篇热量计
  • 1篇膜厚
  • 1篇绝缘膜
  • 1篇工艺技术
  • 1篇功耗
  • 1篇厚度
  • 1篇厚度控制
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇磁敏
  • 1篇磁敏电阻

机构

  • 3篇沈阳汇博思宾...

作者

  • 3篇李绍恒
  • 3篇王晓雯
  • 3篇孙仁涛
  • 2篇吴东阁
  • 2篇李洪儒

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2005
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件
薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件,是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片,其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路:与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻,总电阻值为500~800KΩ,在两个薄膜...
孙仁涛王晓雯李绍恒
文献传递
30纳米磁性薄膜的制造方法
30纳米磁性薄膜的制造方法,利用真空蒸镀的方法和无氧化结晶处理工艺,其特征是选取高纯度的Ni、Co,按重量比1∶2.3的比例混合备用,用真空蒸镀的方法进行薄膜蒸镀:当真空度达到1.0×10<Sup>-6</Sup>乇时,...
孙仁涛王晓雯吴东阁李绍恒李洪儒
文献传递
30纳米磁性薄膜的制造技术
30纳米磁性薄膜制造技术,利用真空蒸镀的方法和无氧化结晶化处理工艺技术,其特征是选取高纯度的Ni、Co,按1:2.3的比例混合备用;用真空蒸镀的方法进行薄膜蒸镀:当真空度达到1.0×10<Sup>-6</Sup>乇时,加...
孙仁涛王晓雯吴东阁李绍恒李洪儒
文献传递
共1页<1>
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