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领域

  • 9篇化学工程
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 4篇气体
  • 3篇电子气体
  • 3篇有机氟
  • 3篇膜分离
  • 3篇化工
  • 3篇含氟
  • 3篇分离纯化
  • 3篇氟化工
  • 3篇半导体
  • 3篇纯化
  • 2篇精细化
  • 2篇精细化学
  • 2篇精细化学品
  • 2篇化学品
  • 2篇分离纯化技术
  • 2篇半导体工业
  • 2篇ASPEN_...
  • 2篇纯化技术
  • 1篇电子级
  • 1篇性能参数

机构

  • 10篇浙江省化工研...
  • 1篇中国石油天然...

作者

  • 10篇李盛姬
  • 6篇张建君
  • 5篇田端正
  • 5篇吴江平
  • 3篇刘武灿
  • 3篇柳彩波
  • 2篇李大刚
  • 2篇潘明翔
  • 1篇罗齐新
  • 1篇齐海
  • 1篇黄雪静
  • 1篇郑丽娟
  • 1篇欧阳旭
  • 1篇王桃燕

传媒

  • 3篇有机氟工业
  • 1篇低温与特气
  • 1篇浙江化工
  • 1篇2009中国...
  • 1篇2012中国...

年份

  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
有机氟化工中的特种分离技术被引量:1
2010年
主要概述了有机氟化工中的几种特种分离技术,包括:吸附、萃取精馏、变压精馏、亚沸精馏、膜分离等。同时,列举了这些分离技术在有机氟化工中的应用实例。
田端正王桃燕吴江平欧阳旭李盛姬
关键词:有机氟精馏膜分离
含氟电子气体研究进展
含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和刻蚀剂。本文综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考。
Li Shengji李盛姬Liu Caibo柳彩波Liu Wucan刘武灿Zhang Jianjun张建君
关键词:性能参数品种资源环境保护
半导体工业用含氟清洗气体研究进展
本文阐述了传统半导体工业用含氟清洗气体的主要品种及对环境的影响。并通过技术创新,研发出新一代含氟清洗气体,其GWP值低甚至为零,清洗效率高,后处理简单。代表性的新一代含氟清洗气体是COF2,其他如F2,ClF3等。并对C...
李盛姬柳彩波刘武灿张建君
关键词:半导体工业污染防治
文献传递
分离纯化技术在有机氟精细化学品中的应用研究进展
本文综述了在有机氟精细化学品中应用较多的分离纯化技术,包括萃取精馏、变压精馏、亚沸精馏、吸附、化学氧化、光氯化、化学吸收等,同时着重介绍一种新兴的分离技术——膜分离技术及其目前国内外在有机氟精细化学品中应用研究以供同仁参...
李盛姬田端正潘明翔李大刚吴江平
关键词:分离纯化有机氟精细化学品膜分离
反渗透膜法除氟研究
在半导体、金属处理、玻璃制造等工业中均会产生大量的含氟废水,尤其是随着半导体工业的快速发展,大量地使用氢氟酸HF进行蚀刻与清洗操作,因此从环保的角度来看,寻找有效的处理高浓度含氟废水是很重要也很有必要的。目前国内外报导的...
李盛姬罗齐新郑丽娟
关键词:含氟废水处理
文献传递
Aspen Plus模拟在氟化工中的应用研究被引量:8
2011年
Aspen Plus是生产装置设计、稳态模拟和优化的大型通用流程模拟系统。全球各大化工、石化、炼油等过程工业制造企业及著名的工程公司都是Aspen Plus的用户。举例介绍了Aspen Plus模拟在氟化工中的应用,分析可能存在的困难,并展望Aspen Plus模拟在氟化工中的应用前景。
李盛姬田端正吴江平张建君
关键词:ASPENPLUS氟化工
分离纯化技术在有机氟精细化学品中的应用研究进展被引量:2
2010年
综述了在有机氟精细化学品中应用较多的分离纯化技术,包括萃取精馏、变压精馏、亚沸精馏、吸附、化学氧化、光氯化、化学吸收等,同时着重介绍一种新兴的分离技术———膜分离技术及其目前在国内外有机氟精细化学品中的应用研究以供同仁参考。
李盛姬田端正潘明翔李大刚吴江平
关键词:分离纯化有机氟精细化学品膜分离
Aspen Plus模拟在氟化工中的应用研究
本文介绍了Aspen Plus模拟在氟化工中的应用研究。若能利用中试数据模拟生产,或是用计算机模拟化学反应过程,则可减少实验测试次数,节省大量资金和时间,并能解决某些由于实验技术所限,难以进行测量的问题,具有重大的现实意...
李盛姬田端正吴江平张建君
关键词:氟化工流程模拟软件性能评价
电子级含氟气体制备技术研究进展被引量:11
2012年
电子气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。电子气体的纯度朝高纯的方向发展是电子气体产业的一个必然方向,这就要求电子气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求,以实现市场价值。主要阐述了含氟电子气体制备中较有发展前景的多孔吸附分离技术,主要包括吸附分离工艺及吸附剂,并指出有待于进一步深入研究的内容与方向。
李盛姬柳彩波刘武灿张建君
关键词:半导体工业电子气体分离纯化
含氟电子气体研究进展被引量:18
2013年
含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂。综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考。
李盛姬黄雪静齐海张建君
关键词:电子气体清洗剂氟化工半导体
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