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李琳
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5
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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合作作者
廖昭亮
中国科学院物理研究所
李建奇
中国科学院物理研究所
杨槐馨
中国科学院物理研究所
陈东敏
中国科学院物理研究所
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用于TEM样品制备的手动精密研磨抛光器
本实用新型提供一种可以精确控制研磨样品厚度的研磨抛光器,该手动研磨抛光器包括主体结构、测微丝杆、三个宝石球。测微丝杆和宝石球设置在主体结构上,测微丝杆由主体结构的中间通孔伸出,测微丝杆的杆顶部平面装载样品,通过调节测微丝...
廖昭亮
李琳
陈东敏
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薄膜窗口的制备方法
本发明提供了一种薄膜窗口的制备方法,包括:提供一硅晶片;在所述硅晶片的两面分别沉积一层保护薄膜层和一层窗口薄膜层;提供具有至少一个窗口的掩模,并将所述掩模可分离地覆盖在所述保护薄膜层上;利用干法刻蚀工艺在所述硅晶片内部刻...
李琳
廖昭亮
李建奇
文献传递
新型TEM样品支持膜(氮化硅窗口)的制作工艺
本发明提供一种新型的TEM样品支持膜的制作工艺,具体步骤为:通过在硅基片的一面沉积氮化硅薄膜,另一面沉积掩膜层得到SiNx/Si/Mask结构;然后采用微加工工艺制作腐蚀图形。采用本发明中所公开的TEM样品支持膜的制作工...
李琳
廖昭亮
李建奇
杨槐馨
文献传递
La2/3Sr1/3MnO3超薄薄膜低温下再次进入的绝缘相的研究
La2/3Sr1/3MnO3(LSMO)是铁磁金属材料,在锰氧化物材料里具有最高的居里温度,其金属性与其铁磁性通过双交换机制耦合。研究发现LSMO薄膜随着厚度的减小会出现金属到绝缘体的转变[1],这个临界厚度被称作“死层...
李琳
廖昭亮
金荣英
张坚地
郭建东
关键词:
局域化
薄膜窗口的制备方法
本发明提供了一种薄膜窗口的制备方法,包括:提供一硅晶片;在所述硅晶片的两面分别沉积一层保护薄膜层和一层窗口薄膜层;提供具有至少一个窗口的掩模,并将所述掩模可分离地覆盖在所述保护薄膜层上;利用干法刻蚀工艺在所述硅晶片内部刻...
李琳
廖昭亮
李建奇
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