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李天茂
作品数:
1
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供职机构:
沈阳仪器仪表工艺研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
徐广忠
沈阳仪器仪表工艺研究所
庞世信
沈阳仪器仪表工艺研究所
唐伟
沈阳仪器仪表工艺研究所
李妍君
沈阳仪器仪表工艺研究所
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作者
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李天茂
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唐伟
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庞世信
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徐广忠
年份
1篇
1996
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扩散硅压力、液位传感器
徐广忠
庞世信
李妍君
李天茂
唐伟
扩散硅传感器是一种新型传感器。它的制造采用微电子技术,易于大批量生产,并便于集成,实现智能化,所以它是当今世界传感器发展的一大主。扩散硅压力、液位传感器是利用半导体硅的压阻效应,应用半导体硅的平面工艺和特殊封装工艺以及测...
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压力传感器
液位计
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