2024年11月27日
星期三
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
戚晖
作品数:
22
被引量:0
H指数:0
供职机构:
中国科学院
更多>>
相关领域:
自动化与计算机技术
更多>>
合作作者
耿达
中国科学院
冯彬
中国科学院
周景玉
中国科学院
张雪
中国科学院
佟辉
中国科学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
22篇
中文专利
领域
1篇
自动化与计算...
主题
12篇
溅射
12篇
磁控
12篇
磁控溅射
8篇
镀膜
8篇
镀膜设备
8篇
制程
8篇
控制程序
6篇
法兰
4篇
电机
4篇
电机驱动
4篇
自转
4篇
控制系统
4篇
基片
4篇
工控
4篇
工控机
3篇
运动控制
3篇
运动控制卡
3篇
真空
3篇
真空试验
3篇
试验仪
机构
22篇
中国科学院
作者
22篇
戚晖
10篇
冯彬
10篇
耿达
9篇
周景玉
8篇
刘丽华
8篇
郭东民
8篇
佟辉
8篇
张雪
4篇
李求恕
4篇
曾志群
4篇
潘福全
4篇
阎佐健
4篇
吕祺
3篇
刘军
3篇
张军
3篇
鲁向群
3篇
林秀清
2篇
孙荣昌
2篇
徐英凤
2篇
石长友
年份
6篇
2013
8篇
2012
1篇
2011
1篇
2010
1篇
2009
1篇
2008
4篇
2000
共
22
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法
本发明涉及一种真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法,系统包括PLC,其输入端接收现场传感器信号,与工控机进行通讯连接,输出信号经驱动电路送至现场设备;工控机为PLC的上位机,对PLC中的控制程序进行编程,通过PLC对现场...
耿达
戚晖
林秀清
文献传递
离子束溅射镀膜机
本实用新型涉及一种离子束溅射镀膜装置。由镀膜室、离子枪、旋转靶、衬底夹持架等组成,镀膜室为圆筒形,离子枪位于镀膜室顶部,镀膜室中部倾斜45°角安装旋转把,离子枪引出栅轴心线与旋转把一面靶材中心点位于同一垂直轴线上,镀膜室...
李求恕
王文魁
郭东民
冯彬
曾志群
阎佐健
刘军
戚晖
潘福全
鲁向群
吕祺
文献传递
一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法
本发明公开一种真空镀膜设备的PLC虚拟设备控制系统及控制方法,本发明主要解决更改设备需要重新设计控制方式的问题,本发明系统主要包括PLC、上位机和外部设备,PLC为主控设备,特点是在PLC内采用虚拟化输入/输出端口,使工...
戚晖
耿达
张国栋
张华威
文献传递
一种磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种磁控溅射系统,包括磁控室、基片转台、基片转台驱动电机、传动机构、磁控靶、机台架、真空抽气系统及电动提升机构,磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连,在磁控室内均布有多个安...
赵科新
佟辉
周景玉
刘丽华
张雪
戚晖
文献传递
真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法
本发明涉及一种真空试验仪器自动泵抽系统及其控制方法,系统包括PLC,其输入端接收现场传感器信号,与工控机进行通讯连接,输出信号经驱动电路送至现场设备;工控机为PLC的上位机,对PLC中的控制程序进行编程,通过PLC对现场...
耿达
戚晖
林秀清
一种真空设备运动定位控制系统及控制方法
本发明公开一种真空设备运动定位控制系统及控制方法,该真空设备运动定位控制系统包括PLC、工控机、现场设备及传感器;其中,PLC为主控部件,其输入端接收现场传感器信号,与工控机进行通讯连接,输出端接现场设备,所述现场设备包...
戚晖
耿达
林秀青
徐英凤
文献传递
带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本实用新型涉及镀膜设备,具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统,包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统,磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连,在磁控室内...
冯彬
郭东民
佟辉
周景玉
刘丽华
张雪
戚晖
文献传递
一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统
本发明涉及镀膜设备,具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统,包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统,磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连,在磁控室内均布...
冯彬
郭东民
佟辉
周景玉
刘丽华
张雪
戚晖
文献传递
矩形样品磁控溅射仪运动控制装置
本实用新型涉及一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置,该装置具有工业控制计算机、运动执行机构及运动控制卡,运动控制卡接收运动执行机构的反馈信号,并向运动执行机构发送控制信号,运动控制卡与工业控制计算机进行通讯连接;工业控制计...
耿达
戚晖
张军
文献传递
平面显示器连续镀膜装置
本实用新型涉及一种平面显示器连续镀膜装置。由五个长方形箱体喷淋烘干室、进样室、溅射室、翻转室、电子束蒸发室及抽气机构等组成,其中喷淋烘干室为非真空室,进样室、溅射室、翻转室和电子束蒸发室为线列式连续镀膜的真空室,手动矩形...
李求恕
郭东民
冯彬
刘军
阎佐健
鲁向群
戚晖
吕祺
曾志群
潘福全
郭宝英
石长友
文献传递
全选
清除
导出
共3页
<
1
2
3
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张