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张茂平

作品数：6 被引量：4H指数：2
供职机构：华南师范大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金广东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 6篇等离子体
  • 2篇氮化
  • 2篇氮化钛
  • 2篇等离子体参数
  • 2篇电子束蒸发
  • 2篇陶瓷
  • 2篇内应力
  • 2篇钨丝
  • 2篇绝缘陶瓷
  • 2篇固定法
  • 2篇变温
  • 1篇等离子体密度
  • 1篇低温等离子体
  • 1篇电压
  • 1篇电压范围
  • 1篇栅压
  • 1篇离子
  • 1篇离子密度
  • 1篇离子源
  • 1篇密度检测

机构

  • 6篇华南师范大学

作者

  • 6篇张茂平
  • 5篇陈俊芳
  • 4篇符斯列
  • 2篇李炜
  • 2篇李贇
  • 2篇史磊
  • 2篇蒙高庆
  • 2篇向鹏飞
  • 1篇赖秀琼
  • 1篇杨春林
  • 1篇吴先球
  • 1篇田琴
  • 1篇熊予莹

传媒

  • 2篇华南师范大学...
  • 1篇第十届全国M...

年份

  • 1篇2010
  • 3篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2005
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台，由密封中空盘部件、固定支架部件、加热管部件和温度传感器部件连接构成。其中，密封中空盘部件由基片板、侧板、底盘和绝缘陶瓷固定连接构成；固定支架部件由金属套管、射频天线和固定法兰连接构成；加...
陈俊芳符斯列张茂平李贇李炜
文献传递
电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布
2005年
利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1Pa、射频13.56MHz、功率200W、加速栅压-200V和减速栅压+85V条件下,电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间密度分布,以及不同放电气压和不同偏压下反应室内的等离子体密度分布.通过对反应室中等离子体空间分布的分析,得到离子密度均匀区域、合适的反应气压和合适的加速栅电压、减速栅电压范围.
蒙高庆陈俊芳向鹏飞熊予莹吴先球符斯列张茂平
关键词：电子束蒸发等离子体LANGMUIR探针离子密度电压范围栅压
离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究被引量：2
2006年
采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响.结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀.
张茂平陈俊芳蒙高庆向鹏飞史磊赖秀琼
关键词：氮化钛
低温等离子体增强电子束蒸发沉积TiN的研究
TiN呈金黄色，硬度大，熔点高，抗腐蚀性、抗磨损性及抗氧化性好，导电性和导热性良好，在机械工业、微电子制造业、珠宝装饰业、玻璃制造业等领域具有广范的应用前景。 制备TiN薄膜的方法主要有多种沉积法，如：...
张茂平
关键词：氮化钛
文献传递
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台
等离子体增强沉积薄膜装置的基片台，由密封中空盘部件、固定支架部件、加热管部件和温度传感器部件连接构成。其中，密封中空盘部件由基片板、侧板、底盘和绝缘陶瓷固定连接构成；固定支架部件由金属套管、射频天线和固定法兰连接构成；加...
陈俊芳符斯列张茂平李贇李炜
文献传递
基于FPGA的等离子体密度自动诊断系统
本文提出了一种基于FPGA的等离子体静电探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog ...
史磊陈俊芳张茂平符斯列杨春林田琴
关键词：等离子体FPGA密度检测
文献传递
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