张海岩
- 作品数：8 被引量：28H指数：3
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于Labview的微型电场传感器自动标定系统
- 针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点，本文设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统，该系统采用LabVIEW可视化编程语言，实现传感器的采集控制和信号处理，并基于新型的相关检测和噪声抑制技术，可...
- 张海岩彭春荣刘世国杨鹏飞夏善红
- 关键词：微型电场传感器LABVIEW软件
- 微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法
- 研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避...
- 郭鑫张海岩彭春荣夏善红
- 关键词：微型电场传感器控制方法
- 文献传递
- 基于Labview的微型电场传感器自动标定系统被引量：3
- 2011年
- 针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-60dB的信号提取,通过加载相关测试模块,可进一步测得传感器的静态及动态指标,并谱出动态响应曲线。
- 张海岩彭春荣刘世国杨鹏飞夏善红
- 关键词：微型电场传感器LABVIEW语言
- 微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法被引量：3
- 2009年
- 研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生,提高微型电场传感器的成品率。
- 郭鑫张海岩彭春荣夏善红
- 关键词：微型电场传感器自组装膜
- 新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器被引量：3
- 2010年
- 为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的谐振式微型静电场传感器.该传感器敏感结构主要包括静电梳齿激励电极、屏蔽电极和感应电极3部分.工作时,在该传感器敏感结构同一侧梳齿的固定端上加入反相相等的激励信号,实现差分激励,使屏蔽电极在谐振频率处振动,从而在感应电极上感应出差分电流信号,通过相关检测方式检测出传感器该输出信号的二次谐波分量,即可获得被测静电场强度大小.该传感器的新型结构设计和激励检测方案可获得最大电场响应灵敏度,并有效抑制了同频耦合串扰和共模噪声.常压室温(约25℃)测试结果表明,在量程(-15 kV/m～15 kV/m)内,只需要5 Vpp激励电压,其中线性度(端基线性度)达到了1.03%,分辨率优于200 V/m.
- 彭春荣刘世国张海岩郭鑫夏善红
- 关键词：电场传感器谐振器
- SOI微型电场传感器的设计与测试被引量：20
- 2011年
- 该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下,测试表明,测试量程0～50kV/m,传感器总不确定度优于2%,分辨率为50 V/m。
- 杨鹏飞彭春荣张海岩刘世国夏善红
- 关键词：分辨率
- 热驱动微型电场传感器干燥技术被引量：1
- 2010年
- 介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象的产生,采用了不同的干燥方法,如蒸发干燥法、CO2临界点干燥法、自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。对不同干燥方法制备的热驱动微型电场传感器的性能进行了测试,得到自组装膜法制备的热驱动微型电场传感器具有更好的灵敏度。
- 郭鑫杨鹏飞张海岩彭春荣夏善红
- 关键词：电场传感器自组装膜
- 非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪被引量：2
- 2009年
- 针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20 mm位置,该传感器最小分辨电压优于10 V,精度优于10%。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明:该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。
- 彭春荣刘世国张海岩郭鑫夏善红
- 关键词：电场传感器谐振器
