廖清君
- 作品数：4 被引量：57H指数：3
- 供职机构：四川大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放课题基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 单波长消光椭偏仪的数据处理研究
- 椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法.该论文将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术--模拟退火法--用来求解椭偏反演方程,对椭圆偏振测量仪...
- 廖清君
- 关键词：模拟退火算法
- 文献传递
- 用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数被引量：18
- 2003年
- 提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近 ,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。
- 刘细成王植恒廖清君赖成军
- 关键词：透射光谱模拟退火光学常数
- 消光椭偏仪测量中的四区域法平均被引量：2
- 2001年
- 作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所得结果与理论计算值符合得很好 .
- 廖清君王植恒王磊周传宏赖成军刘细成
- 模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用被引量：32
- 2002年
- 将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术———模拟退火法———用来求解椭偏反演方程。首先假设一个薄膜模型 ,计算出其相应的椭偏参数 (Ψ ,Δ)的值 ,在这个计算值的基础上加入不同标准偏差的高斯噪声 ;然后将加入噪声后的值 (Ψm ,Δm)作为模拟的测量数据 ,采用模拟退火算法进行求解 ,验证得知这种方法求得的薄膜参数很接近于假设的薄膜模型参数的真值 ,与其他文献的报道结果一致 ,而且在扩大搜寻范围时 ,仍然可以得到准确解 ,从而证明了该方法的可行性以及有效性。
- 廖清君王植恒王磊周传宏赖成军刘细成
- 关键词：模拟退火测量方法
