吴智华
- 作品数：9 被引量：13H指数：2
- 供职机构：苏州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 采用DMD并行输入的激光干涉直写方法被引量：10
- 2008年
- 基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理,为高效率制作高品质光变图像提供了新方法。实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍。给出了高质量的实验结果。
- 吴智华周小红魏国军邵洁陈林森
- 关键词：图像处理软件
- 高分辨率衍射图形的DMD并行激光干涉直写被引量：4
- 2008年
- 通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3.5μm,干涉条纹周期1μm.控制刻蚀深度、干涉条纹取向和DMD输入图形的结构,系统能数字化完成2D/3D、3D光变图像、超微图形文字以及二元光学元件的制作,实现了超高分辨率图形与高效的干涉光刻.给出了实验结果.
- 吴智华魏国军周小红邵洁陈林森
- 关键词：二元光学
- 亚波长光学制造技术研究与产业化应用
- 陈林森沈雁魏国军邵洁周小红郭锡平朱志坚解正东浦东林叶燕周云解剑锋汪振华毛利华周望吴智华申溯方宗豹张恒周雷
- 一、项目来源1、国家自然科学基金（04年～07年）：非周期性位相调制的衍射光栅的光场分布与特性的研究，编号：104740702、江苏省六大人才高峰计划（03～05年）：3D激光直写系统软硬件研究与应用。3、江苏省“青蓝工...
- 关键词：
- 非周期微纳结构器件智能化制造技术与应用
- 周小红陈林森浦东林魏国军吴智华申溯
- 1.来源与背景：该成果是先进制造技术的新方法、关键器件研制的原始创新、自主研发。微纳米尺度的周期结构具有彩虹色散效应。而非周期性微结构能定向控制光线发散方向，消除色散，均匀光强，可将LED点光源转换为面光源、提高平板显示...
- 关键词：
- 一种基于散斑结构的全息显示屏
- 2007年
- 提出一种全息平面显示屏的设计和制作方法。显示屏由全息像素单元组成,每一个像素单元都基于散斑的像面全息结构,其中基元光栅起到调制入射光并定向衍射成像的作用。分析了显示屏的视场特性,数值模拟了记录参考光不同入射角度和起限制垂直方向视场作用的狭缝的宽度对再现散斑像的影响。制作出幅面大小为600 mm×800 mm(约40″),厚度为1.5 mm的普通投影全息显示屏,给出相应的制作流程和制作参数。结果表明,全息显示屏具有高亮度和消色散的优点,浮雕型结构便于进行大幅面的快速微纳米压印复制,使得所提出的显示屏具有低成本的工艺优势。
- 周雷吴智华浦东林申溯周小红陈林森
- 关键词：全息散斑场
- 非周期器件(材料)的制造技术与应用
- 周小红浦东林魏国军陈林森许家明吴智华申溯
- 本成果是先进制造技术的新方法，关键器件研制的原始创新、自主研发。 非周期性微结构能够定向控制光线发散方向，消除色散，均匀光强，可将LED点光源转换为面光源，提高平板显示光场在有效视角范围内的能量利用率，获得仿真金属色泽...
- 关键词：
- 关键词：微结构
- 镍金属表面双光束激光干涉直写研究
- 2009年
- 利用波长为351nm的半导体抽运全固态脉冲激光器,采用双光束干涉方法,对金属镍板表面直接刻蚀形成微光栅结构的方法进行了实验研究.通过改变激光功率和激光脉冲数等实验参量,研究其对制备的微光栅结构槽形和一级衍射效率的影响.利用扫描电镜和原子力显微镜测量光栅槽形,测得光栅周期为1.25μm,光栅槽深为10～280nm,并测量了相应的衍射效率.发现当采用激光单脉冲能量为1.2mJ,采用10个脉冲加工时,测得槽深为280nm,一级衍射效率最高(18%)的微光栅结构.利用光栅的衍射理论对衍射效率变化进行了分析.该研究拓展了纳秒激光在加工微结构方面的应用,为在金属材料表面制作纳米压印模版提供了一种新方法.
- 张恒方宗豹吴智华周云陈林森
- 关键词：纳秒激光衍射效率刻蚀
- 高分辨率激光并行直写系统研究与应用
- 本文介绍了一种采用数字微反射镜(DMD)输入的激光并行直写系统，适用于超高分辨率图像光刻制造，并支持多光束干涉光刻(interference lithography)。通过智能识别图形的轮廓，实现了对高分辨率图像的高效率...
- 吴智华
- 关键词：光电子器件平板显示器激光直写系统图像处理
- 文献传递
- 一种透明全息投影显示屏的研制
- 2007年
- 研制了一种透明平面全息显示屏。显示屏由全息像素组成,每一个像素都基于散斑的像面全息结构,其中基元光栅起到调制入射光并定向衍射成像的作用。分析了显示屏的视场特性,对不同的参物比对显示屏衍射效率的影响进行了测量和分析。全息显示屏具有高亮度和消色散的优点,浮雕型结构便于进行大幅面的快速微纳米压印复制,使得所提出的显示屏具有低成本的工艺优势。
- 周雷吴智华浦东林申溯周小红陈林森
- 关键词：散斑场衍射效率
