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刘晨

作品数：3 被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学技术大学信息科学技术学院电子工程与信息科学系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 2篇刻蚀
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇电路
  • 1篇物理机制
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片加工
  • 1篇集成电路
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机建模
  • 1篇光刻
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体集成
  • 1篇半导体集成电...

机构

  • 3篇中国科学技术...

作者

  • 3篇刘之景
  • 3篇刘晨

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇物理
  • 1篇表面技术

年份

  • 3篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
芯片加工中的器件损伤被引量：1
1999年
分析了芯片加工中器件损伤的物理机制并给出了减小损伤的方法。
刘之景刘晨
关键词：芯片加工半导体集成电路
光刻与等离子体刻蚀技术被引量：15
1999年
介绍了光刻与等离子体刻蚀技术的特点与进展。
刘之景刘晨
关键词：光刻等离子体刻蚀物理机制
等离子作加工中的计算机建模
1999年
介绍了等离子体刻蚀和沉积加工的工业应用,指出在产品加工和设计中,计算机建模的重要性和必要性,强调了等离子体刻蚀反应器、热喷射系统和等离子体化学蒸气沉积中所使用的计算机模型。
刘之景刘晨
关键词：刻蚀计算机建模
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共1页<1>
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