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刘彦婷

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇软光刻
  • 3篇互连
  • 3篇光互连
  • 3篇光刻
  • 1篇导波
  • 1篇导波光学
  • 1篇输入输出
  • 1篇跨距
  • 1篇互连技术
  • 1篇光线追迹
  • 1篇光学
  • 1篇高聚物
  • 1篇材料选用
  • 1篇传输损耗

机构

  • 3篇浙江大学

作者

  • 3篇刘彦婷
  • 2篇吴兴坤
  • 2篇倪玮

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2008
  • 2篇2007
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种三维多层垂直耦合光互连结构及其软光刻的制作方法
本发明公开了一种三维多层垂直耦合光互连结构及其软光刻的制作方法。直波导输入输出段、S形弯曲坡面结构、长方体结构和平面光传输波导位于基版的表面，S形弯曲波导位于S形弯曲坡面结构的表面，直波导输入输出段位于长方体结构的表面，...
倪玮刘彦婷吴兴坤
文献传递
基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构被引量：4
2008年
设计并试制了一种新型垂直耦合光互连线路结构，可用于高速计算机内部等垂直堆叠的多层连通光互连的芯片问光信息通讯。其结构简单，且具有较小的连接损耗（可低至0．05dB）。对四种不同的典型波导截面（分别为30μm×30μm，50μm×50μm，100μm×100μm，200μm×200μm），利用蒙特卡罗多光线追迹分析法对跨越l～6层的垂直耦合结构进行了性能分析，发现当该结构的跨越高度与横向跨越距离的比值约为0．128时，可实现较理想的低损耗（低于1dB）光传输。采用软光刻的方法制备了实验多层光互连线路，其性能测试与理论结果基本相符。
刘彦婷倪玮吴兴坤
关键词：导波光学软光刻光线追迹
基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构
如今是一个信息爆炸的时代，计算机和通信技术的快速发展为我们开辟了一个全新的世界。电子系统的信息处理能力与日俱增，但随着芯片工作癞率的不断增加和线宽的不断缩小，人们也越来越清楚地发现互连技术已成为系统性能进一步发展的严重障...
刘彦婷
关键词：光互连传输损耗软光刻互连技术
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