丑修建
- 作品数：299 被引量：295H指数：9
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 高k栅介质材料制备技术研究进展被引量：2
- 2013年
- 随着半导体器件特征尺寸的不断减小,传统SiO2栅介质减薄到1 nm以下时会导致栅极漏电流增大、器件可靠性下降等诸多问题,已无法满足CMOS技术长远发展要求。因此,寻求替代SiO2的新型栅介质材料,减少器件的隧穿电流,提升可靠性成为CMOS技术的发展方向。如何制备化学性质稳定、性能优异的栅介质薄膜成为高k栅介质材料亟待解决的问题。论述了理想高k栅介质材料的基本要求,重点介绍了高k栅介质材料制备技术的研究进展,并分析指出了高k栅介质材料制备技术的未来发展趋势。
- 刘冰穆继亮陈东红丑修建郭涛熊继军
- 关键词：高介电常数栅介质掺杂
- MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器被引量：10
- 2015年
- 具有高能量输出密度的自我供电振动能量采集技术有着迫切的应用需求,是智能化MEMS器件系统发展的重要方向。研究了一种可将外界环境振动能转化为电能的MEMS压电-磁电复合振动能量采集器,其综合了压电发电和磁电发电的优势,为新型MEMS供电研究提供了新思路。利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PZT)压电功能薄膜的制备,采用MEMS加工技术完成器件四悬臂梁-中心质量块基础结构的设计和制作,结合集成封装技术实现微结构与永磁铁的微组装。测试结果表明:在一阶谐振频率247 Hz,10 g加速度激励的振动状态下,器件压电部分压电敏感单元与磁电部分电感线圈的单位体积最大有效输出电压分别为2.066×107和5.002×106 mV/cm3。
- 杨杰许卓安坤陈晓勇丑修建
- 关键词：压电式电磁式
- 基于摩擦和压电复合机制的接触-分离式纳米发电机被引量：5
- 2017年
- 介绍了一种基于摩擦和压电复合机制的接触-分离式纳米发电机的制备方法,利用倒模工艺形成带有铜网微结构的硅胶膜,与铝电极形成顶端摩擦层结构;利用聚偏氟乙烯(PVDF)膜和铝电极形成底端压电层结构,其中中间铝电极为共享电极,使摩擦单元和压电单元协同工作。研究结果表明,摩擦单元和压电单元在接触-分离的周期过程中产生的电信号不同步,需要分别对它们进行整流后混合输出。摩擦单元整流后的电压峰值约为100 V,压电单元整流后的电压峰值约为50 V,整流后混合输出的电能能够点亮50盏LED灯,存储在电容中能够为电子表正常工作持续供电,因此,复合纳米发电机可以作为振动能量采集器被广泛应用。
- 朱杰侯晓娟何剑何剑丑修建
- 关键词：整流
- 一种能量收集设备
- 本申请公开了一种能量收集设备，包括动能收集部和静能收集部，所述静能收集部和动能收集部固结，所述静能收集部至少部分设置在光环境中，所述静能收集部和所述动能收集部与能量存储装置均连接，其中，所述静能收集部为光能发电机和热能发...
- 丑修建何剑薛晨阳范雪明高扬穆继亮耿文平侯晓娟
- 文献传递
- 一种基于铌酸锂单晶薄膜的畴壁电流测试元件及其制备方法
- 本申请提供了一种基于铌酸锂单晶薄膜的畴壁电流测试元件及其制备方法，通过铌酸锂离子注入剥离的方法得到集成在衬底表面的铌酸锂薄膜；在铌酸锂薄膜表面涂覆掩模层，使用紫外光刻法刻蚀图形，在铌酸锂薄膜图形化结构范围内生长电畴；使用...
- 耿文平丑修建何锦龙乔骁骏牛丽雅侯晓娟穆继亮何剑
- 大量程纳米位移传感器的微纳加工制造被引量：1
- 2015年
- 针对解决大量程纳米位移精度测量难度大的问题,提出了新型纳米时栅传感器。就大量程、高精度位移传感器的亚微米精度加工而言,宏观尺度范围内周期性结构单元一致性制造是保证位移传感器可靠性和高精度测量的关键所在。对上述提出的问题,采用高精度自动拼接曝光技术加工并实现了大量程标尺的图形转移,结合微纳加工方式实现时栅传感器亚微米级精度的制造。通过实验验证所加工出的样机能够达到预期目标,并且测量误差峰值在500 nm以内。
- 许卓杨杰王成陈东红丑修建
- 关键词：时栅
- 石墨烯/介质多层叠加的柔性太赫兹吸波器及制备方法
- 本发明属于太赫兹吸波技术领域，具体为一种石墨烯/介质多层叠加的柔性太赫兹吸波器及其制备方法。吸波器由七层主要结构构成，从上至下依次为石墨烯薄膜层、PI层、石墨烯薄膜层、PI层、石墨烯薄膜层、PI层和金属层，层与层之间旋涂...
- 梅林玉牛耀楷栗倩男候刘宇张盛国丑修建毕开西穆继亮
- 硅基/铁电单晶材料低温晶圆键合及薄膜化加工方法
- 本申请公开了硅基/铁电单晶材料低温晶圆键合及薄膜化加工方法，包括：化学机械抛光原始基板与目标基板；第一次清洗后在原始基板磁控溅射Ti/Pt/Ti电极层；在原始基板上利用等离子体增强化学气相沉积法沉积氧化层；化学机械抛光原...
- 耿文平丑修建杨翔宇毕开西何锦龙薛刚李雅青郑东宛
- 一种铁电薄膜的制备方法及应用
- 本申请公开了一种铁电薄膜的制备方法及应用，首先，用乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆为原料，乙酸和乙酸酐为溶剂，制备铪锆氧前驱体溶液，然后将此溶液进行涂覆、干化热解和高温退火后得到铁电薄膜。再将此铁电薄膜应用到电容器的结构中。本申请...
- 丑修建耿文平张启程穆继亮侯晓娟何剑陈茜
- 文献传递
- 基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源
- 本发明涉及微能源领域，具体是一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源。适应了微电子机械系统发展对微能源的需要，包括基底、外围基座、悬臂梁、质量块，基底与外围基座的下表面键合固定，质量块中央开设有竖直通孔，质量...
- 丑修建张文栋薛晨阳刘俊熊继军张斌珍牛康康耿文平
