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龙芬

作品数:6 被引量:12H指数:3
供职机构:中南大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金:中国博士后科学基金国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信理学金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 3篇金刚石
  • 3篇刚石
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇残余应力
  • 1篇氮化铝
  • 1篇氮化铝薄膜
  • 1篇形核
  • 1篇压痕
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射线衍射
  • 1篇退火
  • 1篇气相沉积
  • 1篇氢气
  • 1篇热丝
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇钛合金
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压痕

机构

  • 6篇中南大学

作者

  • 6篇龙芬
  • 5篇余志明
  • 3篇魏秋平
  • 2篇刘丹瑛
  • 2篇王健
  • 1篇张益豪
  • 1篇张雄伟
  • 1篇翟豪
  • 1篇郝诗梦
  • 1篇孟令聪
  • 1篇阳泰明
  • 1篇王一佳

传媒

  • 3篇粉末冶金材料...
  • 1篇Transa...

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
Mo箔基体上金刚石薄膜的制备及残余应力的研究
金刚石膜因其优异的性能而具有广阔的应用前景。箔材基体上沉积金刚石膜具有厚度薄、柔性高、重量轻、面积大、效率高等特点,因此,它能够满足如微电子器件、生物传感器等电子器件在超薄、超轻和高效等方面的要求,。因此,箔材上沉积金刚...
龙芬
关键词:金刚石薄膜残余应力
文献传递
超薄钼箔表面CVD金刚石薄膜残余应力的研究
采用周期性磁场辅助热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在厚为40μm的钼箔表面沉积金刚石薄膜,研究了沉积温度600℃时不同沉积时间(3,4.5,8h)和沉积温度760℃时不同沉积时间(2,3,5h)下薄膜残余应力...
龙芬余志明魏秋平
关键词:箔材金刚石膜X射线衍射RAMAN光谱残余应力
文献传递
退火和氧化性酸处理对HFCVD法制备金刚石薄膜质量的影响被引量:2
2013年
以H2和CH4为反应气源,采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapor deposition,缩写HFCVD),于不同温度下,在金属Mo表面上制备金刚石薄膜,并分别对薄膜进行退火和氧化性酸处理。采用场发射扫描电镜(FESEM)、拉曼光谱(Raman)及物相分析(XRD),研究沉积温度与后处理工艺对薄膜质量和薄膜表面内应力的影响。结果表明,在700℃下沉积的薄膜晶型良好,晶粒尺寸大且均匀,平均粒径为0.5μm,薄膜中存在2.72 GPa的压应力;该薄膜在氢气气氛中退火后质量得到提升,金刚石的Raman特征峰强与石墨的Raman特征峰强的比值从2.780 0上升至4.451 6,薄膜中无定型碳和石墨成分的总含量(质量分数)下降37.6%;采用过氧化氢氧化处理后,薄膜中无定型碳和石墨的总含量(质量分数)下降26.8%,薄膜中69.0%~73.0%(质量分数)的trans-PA被氧化处理掉,热应力得到释放。
翟豪龙芬余志明王健
关键词:化学气相沉积
基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响被引量:3
2012年
采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6A14V)表面沉积金刚石薄膜,研究基体温度对金刚石形核的影响,及梯度降温CVD技术(即高温梯度降温形核-低温生长)对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响。利用扫描电镜(SEM)、激光拉曼光谱(Raman)和维氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能。结果表明:基体温度较高时,基体表面钛原子和活性碳原子具有更高的能量,更利于活性碳原子向基体的扩散,促进碳化钛的形成,最终延长金刚石的孵化期;采用高温形核-1氐温生长的梯度降温法可以在550-600℃下沉积质量良好的金刚石薄膜;基体温度在30min内从800℃逐渐降温至550℃后再生长7h,所得金刚石薄膜样品具有较好的附着性能。
余志明张益豪魏秋平龙芬阳泰明刘丹瑛
关键词:热丝化学气相沉积金刚石薄膜TI6AL4V形核
氮气含量对射频磁控溅射法制备的AlN薄膜微观结构与力学性能的影响被引量:3
2014年
用Ar气和N2气分别作为溅射气体和反应气体,采用射频反应磁控溅射法,通过调节工作气体(Ar气与N2气的混合气体)中N2的含量(体积分数)φ(N2),在硅(100)衬底上制备一系列六方结构AlN多晶薄膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪等对薄膜特性进行测试与分析。结果表明,φ(N2)对AlN薄膜的择优取向、结晶性、沉积速率与力学性能的影响都十分显著,对薄膜的微观结构和表面粗糙度也有一定影响:随φ(N2)增大,薄膜的厚度和沉积速率逐渐减小,结晶性也发生显著变化;较高的φ(N2)有利于AlN薄膜沿(002)晶面择优生长;φ(N2)对AlN薄膜的硬度影响较大,而对弹性模量影响较小。实验制备的AlN薄膜具有良好的纳米力学性能,硬度平均值在12.0~29.3 GPa之间,弹性模量平均值在184.0~209.8 GPa之间。
余志明刘丹瑛魏秋平张雄伟龙芬罗嘉祺王一佳
关键词:氮化铝薄膜反应溅射纳米压痕
Preparation, characterization and electrochemical properties of boron-doped diamond films on Nb substrates
2013年
A series of boron-doped polycrystalline diamond films were prepared by hot filament (HF) chemical vapor deposition on Nb substrates. The effects of B/C ratio of reaction gas on film morphology, growth rate, chemical bonding states, phase composition and electrochemical properties of each deposited sample were studied by scanning electron microscopy, Raman spectra, X-ray diffraction, microhardness indentation, and electrochemical analysis. Results show that the average grain size of diamond and the growth rate decrease with increasing the B/C ratio. The diamond films exhibit excellent adhesion under Vickers microhardness testing (9.8 N load). The sample with 2% B/C ratio has a wider potential window and a lower background current as well as a faster redox reaction rate in H2SO4 solution and KFe(CN)6 redox system compared with other doping level electrodes.
余志明王健魏秋平孟令聪郝诗梦龙芬
共1页<1>
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