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齐立锋
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
秦雪
中国电子科技集团公司第四十九研...
徐兴烨
中国电子科技集团公司第四十九研...
陈冠中
中国电子科技集团公司第四十九研...
刘智敏
中国电子科技集团公司第四十九研...
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秦雪
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2012
1篇
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数字式高过载复合压力传感器研究
本文论述了机械式压力开关和有源压力敏感元件复合组成的压力传感器,在高冲击10000g,宽温度范围-40℃~100℃条件下,实现量程范围0~1MPa的高精度测量,具有模拟线性输出、TTL电平输出、数字输出和数据通信功能的复...
齐立锋
关键词:
有限元模拟
文献传递
MEMS流量传感器
被引量:1
2012年
上个世纪五六十年代,在各行各业大量需要测量出流量参数的背景下,各种流量传感器不断涌现。这几十年来,微机电系统(MEMS)也取得了非常重要的发展,传统的流量传感器也需要有更加高的精度,更加的集成化,更好的可靠度,因此MEMS流量传感器成为了重要的研究对象。本文对MEMS流量传感器的发展历程,测量原理,分类发展等内容作了必要的介绍,也对一些常用的MEMS流量传感器的特点进行了描述。在文章的最后部分,还给出了MEMS流量传感器的三个主要发展阶段,并且对各阶段的特征给出了介绍,对未来的发展给出了展望。
齐立锋
刘智敏
陈冠中
徐兴烨
秦雪
关键词:
MEMS
流量传感器
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