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陈婷

作品数：30 被引量：0H指数：0
供职机构：中山大学更多>>
相关领域：医药卫生自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 3篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇医药卫生
  • 2篇化学工程
  • 2篇机械工程
  • 1篇哲学宗教
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 10篇微纳加工
  • 5篇米粒
  • 5篇纳米粒
  • 5篇晶圆
  • 5篇键合
  • 4篇肿瘤
  • 4篇疗法
  • 4篇加速度
  • 4篇加速度计
  • 4篇光热
  • 4篇封装
  • 3篇特异
  • 3篇特异性
  • 3篇吡咯
  • 3篇微环境
  • 3篇纳米
  • 3篇聚吡咯
  • 3篇刻蚀
  • 2篇弹簧振子
  • 2篇电镀

机构

  • 30篇中山大学

作者

  • 30篇陈婷
  • 4篇周韵
  • 2篇田双红
  • 2篇熊亚
  • 2篇蔡权
  • 1篇王天琪
  • 1篇李倩倩

年份

  • 1篇2024
  • 7篇2023
  • 10篇2022
  • 6篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2016
  • 1篇2011
  • 2篇2009
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种粒径可控的聚吡咯纳米粒的制备方法及其应用
本发明公开了一种粒径可控的聚吡咯纳米粒的制备方法及其应用，包括如下步骤：S1.制备稳定剂溶液，将稳定剂溶液回流，再自然冷却至室温；S2.向S1的稳定剂溶液中逐滴加入氧化剂，搅拌均匀，得混合溶液；S3.向S2得到的混合溶液...
梅林吴玫颖曾伟伟陈婷周韵郝慧松
文献传递
乙烯裂解过程能量分析策略研究
乙烯的生产水平是衡量一个国家或地区石油化工发展的重要标志，乙烯生产的规模、成本、产品质量等对整个石油化工行业发展起决定作用。作为乙烯生产的核心工艺，乙烯裂解过程是乙烯工业关键技术之一，其能耗占整个乙烯生产过程能耗的70％...
陈婷
关键词：乙烯裂解石脑油裂解
文献传递
一种MEMS芯模的制备方法
本发明属于涉及半导体器件技术领域，涉及一种MEMS芯模的制备方法，包括以下步骤：先将硅片的氧化层侧与晶圆衬底通过热解膜粘合，同时采用深反应离子刻蚀在硅片表面形成所需图形，并在表面沉积金属膜；然后将硅片金属膜侧与晶圆衬底过...
刘芹篁龚跃武陈婷李志贤官盛果涂良成杨山清
一种键合强度测试装置
本实用新型属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种键合强度测试装置，包括底座(1)，所述底座(1)上均匀设有密集的真空吸附孔洞(2)，所述底座(1)上设有可滑动的刀片(3)，所述刀片(3)由设置在控制单元(6)中的电机马达...
陈婷龚跃武官盛果杨山清涂良成
一种检测键合偏移量的结构和方法
本发明属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种检测键合偏移量的结构，包括：上盖晶圆片，所述上盖晶圆片的中央形成有上预留区域；下盖晶圆片，所述下盖晶圆片的中央形成有与所述上预留区域相对设置的下预留区域，所述下预留区域上形成有...
龚跃武陈婷官盛果杨山清涂良成
一种提高金属键合强度的方法
本发明属于半导体微纳加工制造技术领域，具体涉及一种提高金属键合强度的方法，包括以下步骤：包括以下步骤：(1)在晶圆表面沉积的牺牲层上或晶圆的表面涂覆光刻胶；(2)曝光、显影；(3)湿法腐蚀去牺牲层或刻蚀晶圆；(4)湿法腐...
陈婷龚跃武官盛果杨山清涂良成
一种黄光曝光用挡板装置
本实用新型属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种黄光曝光用挡板装置，包括曝光挡板，所述曝光挡板为圆形、尺寸为4寸‑12寸；所述曝光挡板分成N块盖板，N≥2；所述曝光挡板的中央设有旋转件，所述N块盖板分别通过所述旋转件串联...
龚跃武陈婷官盛果杨山清涂良成
一种高度可控的电容加速度计封装的方法
本发明属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种高度可控的电容加速度计封装的方法，所述方法对应的封装结构包括基底、弹簧振子、内部器件、极板、焊料、限位结构和上盖；所述方法包括如下步骤：(1)在基底上制作内部器件；(2)对内部...
涂良成杨山清龚跃武陈婷张晨艳崔建玉
文献传递
一种防止金属剥离残留的方法
本发明属于半导体芯片微纳加工制造技术领域，具体涉及一种防止金属剥离残留的方法，包括以下步骤：(1)在晶圆表面采用PECVD沉积牺牲层；(2)采用匀胶机在所述牺牲层的表面涂覆光刻胶；(3)用光刻机进行曝光、然后显影；(4)...
龚跃武陈婷官盛果杨山清涂良成
文献传递
一种粒径可控的聚吡咯纳米粒的制备方法及其应用
本发明公开了一种粒径可控的聚吡咯纳米粒的制备方法及其应用，包括如下步骤：S1.制备稳定剂溶液，将稳定剂溶液回流，再自然冷却至室温；S2.向S1的稳定剂溶液中逐滴加入氧化剂，搅拌均匀，得混合溶液；S3.向S2得到的混合溶液...
梅林吴玫颖曾伟伟陈婷周韵郝慧松
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