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郭烈阳
作品数:
1
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中国科学院物理研究所
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合作作者
顾长志
中国科学院物理研究所
窦艳
中国科学院物理研究所
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窦艳
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顾长志
年份
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2006
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扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置
本实用新型涉及的扫描电子显微镜使用的探针原位电学特性测量装置,包括一个或多个原位电学特性分测量器、电子源、电学性质测试仪器和内装加热器的样品台;所述多个原位电学特性分测器以样品台为中心环绕样品台均匀分布,其结构分别为:一...
顾长志
窦艳
郭烈阳
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