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郑右非

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇涂胶
  • 2篇曲折
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路制造
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇感光
  • 2篇感光胶

机构

  • 2篇沈阳芯源微电...

作者

  • 2篇郑春海
  • 2篇汪明波
  • 2篇郑右非

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种提高涂胶产能的方法
本发明涉及集成电路制造硅片处理技术，具体来说是一种提高涂胶产能的方法，解决现有技术中对硅片喷涂的产能低等问题。首先将加工载体硅片置于承片台上；然后将涂胶胶嘴从与硅片一端对应的起始位置处开始涂胶，涂胶胶嘴喷涂感光胶同时，在...
郑春海郑右非汪明波
文献传递
一种提高涂胶产能的方法
本发明涉及集成电路制造硅片处理技术，具体来说是一种提高涂胶产能的方法，解决现有技术中对硅片喷涂的产能低等问题。首先将加工载体硅片置于承片台上；然后将涂胶胶嘴从与硅片一端对应的起始位置处开始涂胶，涂胶胶嘴喷涂感光胶同时，在...
郑春海郑右非汪明波
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