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邓少任
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复旦大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
万景
复旦大学
屈新萍
复旦大学
陈韬
复旦大学
刘书一
复旦大学
高晨
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机构
5篇
复旦大学
作者
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邓少任
4篇
屈新萍
4篇
万景
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刘冉
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陆冰睿
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陈宜方
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高晨
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刘书一
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陈韬
年份
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2013
1篇
2011
3篇
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一种基于软模板纳米压印技术的硅纳米线制作方法
本发明属于纳米压印技术领域,具体为一种基于软模板纳米压印技术的硅纳米线的制作方法。其步骤包括:在原始模板上淀积并烘烤二层胶体,并揭下作为软压印模板。在表面为硅层的衬底上旋涂一层光刻胶并前烘,使用前面得到的软模板进行压印,...
高晨
屈新萍
邓少任
万景
刘冉
陈宜方
一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法。本发明首先利用纳米压印技术在透明衬底上制作出图形化的金属和氧化锌籽晶层构成的双层结构,然后旋涂紫外负光刻胶并利用背光刻技术做出纳米孔...
邓少任
屈新萍
陈韬
刘书一
万景
陆冰睿
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基于纳米压印的平面手性人工材料研究
纳米压印光刻技术具有效率高、失真率低、易于实现大面积图形转移等特点,成为下一代光刻技术的研究热点。平面手性人工材料具有独特的手性结构,可以产生旋光效应且旋光效率大大高于传统的双折射晶体,并有可能产生负折射效应,有非常重要...
邓少任
关键词:
纳米压印
旋光
氧化锌
水热法
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一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种基于纳米压印技术的图形化生长氧化锌纳米棒阵列的方法。本发明首先利用纳米压印技术在透明衬底上制作出图形化的金属和氧化锌籽晶层构成的双层结构,然后旋涂紫外负光刻胶并利用背光刻技术做出纳米孔...
邓少任
屈新萍
陈韬
刘书一
万景
陆冰睿
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一种基于软模板纳米压印技术的硅纳米线制作方法
本发明属于纳米压印技术领域,具体为一种基于软模板纳米压印技术的硅纳米线的制作方法。其步骤包括:在原始模板上淀积并烘烤二层胶体,并揭下作为软压印模板。在表面为硅层的衬底上旋涂一层光刻胶并前烘,使用前面得到的软模板进行压印,...
高晨
屈新萍
邓少任
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