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赵淑贞

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇碳化硅
  • 2篇碳化硅单晶
  • 2篇硅单晶
  • 1篇单晶表面
  • 1篇双氧水
  • 1篇浓硫酸
  • 1篇抛光
  • 1篇清洗方法
  • 1篇硫酸
  • 1篇洁净度
  • 1篇SIC单晶

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇赵淑贞
  • 1篇张丹
  • 1篇张飞虎
  • 1篇甘阳

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
碳化硅单晶的清洗方法
碳化硅单晶的清洗方法，它涉及一种单晶的清洗方法。本是为了解决现有清洗SiC的方法步骤繁琐的技术问题。本方法如下：将SiC单晶在温度为75～85℃的混合溶液A中浸泡15～25min，然后用去离子水冲洗SiC单晶，再氮气吹干...
张丹赵淑贞张飞虎甘阳
文献传递
SiC单晶的表面清洗和化学蚀刻研究
空间光学系统对SiC反射镜的表面加工质量要求非常严格。SiC反射镜通常采用化学机械抛光方法进行最后的镜面加工,但抛光后存在表面和亚表面损伤层,反射镜的光学质量、使用寿命和长期稳定性受影响。本论文报道了SiC单晶的化学蚀刻...
赵淑贞
关键词：碳化硅单晶
文献传递
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