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赵春民

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：山东工业大学电力工程学院自动化系更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇曝光机
  • 1篇偏转
  • 1篇偏转系统
  • 1篇像差
  • 1篇A/D
  • 1篇A/D转换

机构

  • 3篇山东工业大学

作者

  • 3篇赵春民
  • 2篇张玉林
  • 1篇尹明
  • 1篇方一兵
  • 1篇魏守水
  • 1篇陈振生
  • 1篇张明

传媒

  • 2篇微细加工技术
  • 1篇山东工业大学...

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1999
  • 1篇1995
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
电子束物镜分析被引量：1
2000年
方一兵赵春民尹明
关键词：像差
电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正被引量：1
1995年
本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。
张明张玉林王国瑕赵春民
关键词：电子束曝光机偏转系统
一种高精度测量束斑电流的新方法
1999年
提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。
魏守水陈振生赵春民张玉林
关键词：电子束曝光机A/D转换
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共1页<1>
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