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赵华波
作品数:
45
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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傅云义
北京大学
张兴
北京大学
黄如
北京大学
魏子钧
北京大学
魏芹芹
北京大学
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赵华波
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傅云义
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27篇
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一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔
本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔,属于近场光学仪器制造领域。该真空腔室分为上下两部分,上部为扫描室,下部为低温杜瓦室。扫描室内设有扫描头,在扫描室的顶部设有顶部法兰,顶端法兰上设置了5个法兰口和升降杆。其中...
赵华波
林峰
朱星
基于石墨烯的二极管器件及其逻辑单元的结构
本发明提供了一种基于石墨烯的二极管器件及其逻辑单元的结构,属于纳米尺度器件的结构以及加工方法。本发明二极管结构为一宽度沿延展方向渐变的三角形单层石墨烯纳米结构,或宽度沿延展方向一宽一窄两个矩形相连的单层石墨烯纳米结构,对...
叶天扬
魏子钧
任黎明
赵华波
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统
本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统,属于近场光学仪器制造领域。该低温SNOM的光学系统包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管,粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱,...
赵华波
林峰
朱星
文献传递
石墨烯场效应晶体管及其制备方法
本发明公开了一种石墨烯场效应晶体管及其制备方法,该场效应晶体管包括柔性衬底,在所述柔性衬底上设有源漏电极,以及连接源漏电极的石墨烯材料,在石墨烯材料上设有一裹着介质层的氧化锌纳米线,所述石墨烯材料作为沟道,所述氧化锌纳米...
尹金泽
魏芹芹
魏子钧
赵华波
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种碳纳米复合材料的制备方法
本发明公开了一种碳纳米复合材料的制备方法,属于纳米材料的研制领域。该方法利用CVD方法制备单层或多层石墨烯;然后将石墨烯转移到目标衬底上;在石墨烯与目标衬底的结构上面涂覆光刻胶,用电感耦合等离子体方法轰击,使光刻胶变性,...
胡保东
周梦杰
李晨
赵华波
魏子钧
郭剑
张亮
任黎明
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种石墨烯纳米孔洞的制备方法
本发明公开了一种石墨烯纳米孔洞的制备方法,属于薄膜材料微纳加工领域领域。该方法采用化学气象沉积法(CVD)在金属铜薄膜上制备石墨烯,利用石墨烯表面本征的缺陷结构制备石墨烯纳米孔洞,其孔径大小可为几纳米至数百纳米。该石墨烯...
李晨
郭剑
周梦杰
胡保东
赵华波
魏子钧
任黎明
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种碳基纳米材料晶体管的制备方法
本发明公开了一种由碳纳米管和石墨烯组成的碳基纳米材料晶体管的制备方法。该方法首先在基底上排列金属性碳纳米管和半导体性碳纳米管,并用导电材料将碳纳米管两端引出电极。在碳纳米管上方沉积一层介质材料,然后将石墨烯转移到淀积有介...
魏芹芹
崔晓锐
尹金泽
曹宇
魏子钧
赵华波
傅云义
黄如
张兴
文献传递
一种石墨烯晶体管的制备方法
本发明公开了一种石墨烯晶体管的制备方法,该方法将置于纳米尺度沟槽内的碳纳米管作为栅电极,利用空气作栅介质,将机械剥离、CVD技术或用其它生长方法制备的石墨烯转移至碳纳米管所在沟槽的上方,则可制得沟道长度接近碳纳米管直径的...
魏芹芹
崔晓锐
尹金泽
曹宇
魏子钧
赵华波
傅云义
黄如
张兴
一种低温扫描近场光学显微镜的减振结构
本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的减振结构,属于近场光学仪器制造领域。在低温扫描近场光学显微镜的真空腔内设有一金属套筒,低温SNOM扫描头通过弹簧悬挂在金属套筒内的顶部,起到一次减振的作用。进一步设有磁阻尼减振装置...
林峰
赵华波
朱星
文献传递
选择性湿法刻蚀制备内嵌碳纳米管的沟槽结构
2012年
提出一种"自下而上"的纳米结构的制备方法。在生长有碳纳米管的氧化硅表面沉积数纳米的钯金属膜后,用氢氟酸刻蚀,得到完全由碳纳米管引导的沟槽结构,并且碳纳米管沿沟槽分布在其底部。通过导电原子力显微镜对沟槽内的碳纳米管的表征,发现其仍然具有良好的导电性。在碳纳米管和钯金属膜之间增加一层磁控溅射沉积的氧化硅,可以增加沟槽的深宽比。通过降低钯金属膜的致密程度,沟槽的开口宽度可降至100 nm左右。该方法制备的结构可以进一步用来构建基于碳纳米管的纳电子器件。
赵华波
张朝晖
关键词:
碳纳米管
钯
湿法刻蚀
沟槽
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