蒋中伟
- 作品数：17 被引量：84H指数：7
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺机械工程化学工程更多>>
- 复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
- 利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工。本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能。在优化工艺参数的基...
- 袁大军蒋中伟郭锐黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 文献传递
- 飞秒激光双光子三维微细加工技术的研究
- 作为一种新型的激光成型技术,飞秒激光双光子微细加工具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等技术特点,在MEMS研究领域受到越来越广泛的重视.该文结合高水平大学建设重点科研项目和国家自然科学基金项目(No.5027514...
- 蒋中伟
- 关键词：飞秒激光双光子激发微系统
- 文献传递
- 飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状被引量：9
- 2004年
- 飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维微加工优势,成为微型机械加工领域新的发展方向之一。介绍了飞秒激光双光子微细加工技术的原理和应用的现状。结合目前已有的微细加工技术,对双光子微细加工技术的特点加以评述。简要报道了利用飞秒激光双光子微细加工技术的一些研究进展。探讨了飞秒激光双光子微细加工技术今后的发展方向及其存在的基本问题。
- 龚莹蒋中伟周拥军袁大军黄文浩李艳秋夏安东
- 关键词：双光子激发飞秒激光微细加工技术
- 双光子三维微细加工的进展被引量：11
- 2004年
- 介绍了双光子微细加工的原理及特点 ,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展 .同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果 .
- 袁大军蒋中伟徐藻郭锐王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发飞秒激光微细加工激光加工
- 双光子三维微细加工重要工艺参数的实验研究被引量：7
- 2003年
- 优化工艺参数是保证双光子微细加工质量的重要条件。经分析选取了激发光强、覆盖率和物镜的数值孔径作为实验研究对象。用自行开发的双光子微细加工系统,通过单独控制一个加工条件而固定其它条件的方法,对比不同条件下系统的实验结果,探讨该工艺条件对加工质量的影响。最后,给出了经参数优化后的部分实验结果。
- 蒋中伟袁大军陈荣刚黄文浩褚家如刘允萍
- 关键词：工艺参数
- 复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
- 利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工.本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能.在优化工艺参数的基...
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- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 文献传递
- 双光子三维微细加工技术及实验系统的开发被引量：33
- 2003年
- 介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。
- 蒋中伟袁大军祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器激光加工
- 飞秒激光双光子复杂结构的微细加工被引量：6
- 2004年
- 阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。
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- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 双光子三维微细加工的分辨率研究被引量：7
- 2004年
- 为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因。根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数。最后给出了部分微器件的成型结果。
- 蒋中伟袁大军郭锐徐藻王翔夏安东黄文浩
- 关键词：双光子激发
- 双光子激光三维微细加工及信息存储技术被引量：5
- 2003年
- 利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统 ,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况 。
- 袁大军周拥军蒋中伟黄文浩夏安东褚家如刘允萍
- 关键词：双光子激光信息存储技术飞秒激光器电子器件
