范丽琴
- 作品数：8 被引量：34H指数：4
- 供职机构：华侨大学厦门工学院更多>>
- 发文基金：福建省科技计划重点项目福建省教育厅资助项目福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学文化科学化学工程电子电信更多>>
- 磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究
- ZnO是一种性能优良的II-VI族宽禁带直接半导体材料，其晶体结构为六角纤锌矿结构，晶格常数：a为0.32496 nm，c为0.52065 nm，室温下禁带宽度约为3.37 eV，激子结合能为60 meV，熔点为1975...
- 范丽琴
- 关键词：透明导电薄膜掺铝氧化锌磁控溅射太阳能电池
- 文献传递
- 氧气流量对磁控溅射制备AZO薄膜特性的影响被引量：2
- 2012年
- 利用直流磁控溅射方法在BK-7基片上制备掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜。研究氧气流量对薄膜电学和光学性质的影响，分析结构和光电学性质改变的机理。X射线衍射的结果发现，氧气浓度为0．5％时制备的薄膜的衍射峰最强．且出现了新的（102）和（110）衍射峰。实验结果表明，随着氧气流量的增加，电阻率（p）先减小后增大，在氧气浓度为0．5％时获得最低电阻1．5×10^-3。所有样品在可见光区的平均光学透过率都在85％左右．在氧气浓度增到1．5％时可见光区的平均透射率达87％。
- 范丽琴赖发春
- 关键词：AZO磁控溅射
- 龚原《周易新讲义》研究
- 龚原是北宋王安石“新学派”的重要门人,是北宋中后期《易》学发展中较有影响的一家,其治《易》祖于王弼,师于王安石,以阐明义理为旨归,传世的《易》学著作有《周易新讲义》。本文即以《周易新讲义》为研究对象,在考证龚原生平仕途经...
- 范丽琴
- 关键词：易学思想成书时间
- 文献传递
- 掺铝氧化锌薄膜的湿化学腐蚀特性研究被引量：1
- 2013年
- 利用射频磁控溅射制备AZO薄膜,然后在常温下0.1%的盐酸水溶液中对薄膜进行化学腐蚀,系统研究了腐蚀时间长短对薄膜的表面形貌和光电学性质的影响。结果表明,薄膜表面的粗糙度和方块电阻随腐蚀时间的增加而增大;薄膜的光学透射率和反射率均随腐蚀时间的增加而减小。
- 范丽琴赖发春
- 关键词：透明导电膜掺铝氧化锌磁控溅射
- 基片温度和氧气流量对磁控溅射制备ITO薄膜光电学性质的影响被引量：7
- 2009年
- 利用直流磁控溅射技术在BK-7基片上沉积掺锡氧化铟(ITO)透明导电薄膜.研究不同基片温度和氧气流量对薄膜的结构、电学和光学性质的影响,分析光电学性质改变的机理.结果表明,随着氧气流量的增加,载流子浓度(N)不断下降,电阻率(ρ)不断增大,但迁移率(μ)先增大后减小,在氧气流量为0.5cm3/min(1Pa)时有最大值.随着基片温度的上升,N逐渐增加,ρ不断降低,而μ则先增加后减小,在基片温度为200℃时为极大值.所有样品在可见光区的平均光学透过率都大于80%,薄膜的折射率和消光系数从拟合透射光谱数据获得;在1 500 nm光学波长处,折射率随载流子浓度的增加而减小,较好符合线性关系;消光系数随载流子浓度的增大而增加,不符合线性关系.
- 裴瑜林丽梅范丽琴瞿燕赖发春
- 关键词：ITO磁控溅射
- 衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响被引量：5
- 2014年
- 利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响.当给衬底加热时,X射线衍射观测(002)峰相对强度明显增强.在衬底温度250℃下制备的薄膜的晶粒尺寸最大,为24.9nm,表面粗糙度最小,为8.1nm,表明在衬底温度250℃下制备的薄膜的结晶效果最好.衬底温度从30℃升高到250℃,薄膜的电阻率相应地从14.35×10-4Ω·cm降低到7.18×10-4Ω·cm,随着衬底温度的升高,电阻率反而增大.所有样品在可见光区的平均光学透射率都大于85%.引入品质因子分析薄膜的光电性能,当衬底温度为250℃时,品质因子最大为16.15×10-3Ω-1,其光电性能最好.
- 范丽琴
- 关键词：衬底温度电阻率透射率
- 薄膜厚度对AZO薄膜光电性能的影响被引量：5
- 2015年
- 通过射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备AZO薄膜,研究膜层厚度对AZO薄膜光电特性的影响。发现随着膜层厚度的增加,AZO薄膜在可见光区的平均透射率略微增长,而方块电阻和电阻率却显著递减,导致其品质因子随厚度增加而增加。在薄膜厚度为395 nm时,获得电阻率为3.24×10-3Ωcm,可见光区平均透射率为85.52%,品质因子为25.52×10-4Ω-1的光电性能良好的透明导电薄膜。本文制备的薄膜具有较优的透明导电性,可以广泛应用于太阳能电池、平板显示器等光电领域。
- 范丽琴
- 关键词：透明导电膜掺铝氧化锌磁控溅射
- 溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响被引量：16
- 2008年
- 利用射频磁控溅射在BK-7玻璃基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究溅射功率对薄膜光电性能的影响.当溅射功率从250 W增加到400 W时,X射线衍射的结果发现,250 W制备的薄膜只有(002)衍射峰,而300 W以上的样品则出现了新的(101)衍射峰;而且随着溅射功率的增加,(002)峰的强度减弱,(101)峰的强度增强.薄膜的厚度随溅射功率的增加而变厚,电阻率随溅射功率的增加而减小,从200 W功率时的24.6×1-0 4Ωcm减小到400W时的7.2×1-0 4Ωcm.样品在可见光区域的平均光学透射率都大于85%,其光学带隙随载流子浓度的减小而减小.
- 范丽琴裴瑜林丽梅詹仁辉赖发春
- 关键词：溅射功率电学性质光学性质
