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苟君
作品数:
118
被引量:23
H指数:2
供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
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合作作者
王军
电子科技大学
蒋亚东
电子科技大学光电信息学院电子薄...
吴志明
电子科技大学光电信息学院电子薄...
黎威志
电子科技大学光电信息学院电子薄...
黄泽华
电子科技大学
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1篇
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1篇
2009
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一种高性能忆阻器的制备方法
本发明公开了一种高性能忆阻器的制备方法,包括以下步骤:在低阻硅上组装单层胶体微球阵列,得到样片;对样片进行干法刻蚀,胶体微球阵列下方的低阻硅出现锥状柱,待胶体微球阵列减小到某一尺寸或刻蚀殆尽后时停止刻蚀;在样片上制备绝缘...
王军
刘贤超
崔官豪
杨明
苟君
高TCR吸收敏感复合薄膜的THz探测结构及制备方法
本发明公开了一种基于碳纳米管和高TCR细胞色素C复合的吸收敏感复合薄膜的THz探测结构制备方法。该吸收敏感复合薄膜制备在太赫兹探测结构的顶层。该复合薄膜利用了碳纳米管的特殊光学性质,能显著增强探测结构对THz波段辐射的吸...
王军
丁杰
郭晓珮
樊林
苟君
蒋亚东
一种基于可变表面方阻的可调谐超材料结构及其制备方法
本发明公开了一种基于可变表面方阻的可调谐超材料结构及其制备方法,用于红外及太赫兹波段的调制器与探测器等领域。本发明中可调谐超材料结构的制备方法为:首先制备顶层为图形化的金属薄膜的三层超材料结构,然后采用氧等离子体轰击超材...
苟君
梁恺
牛青辰
王军
蒋亚东
文献传递
集成红外屏蔽结构的太赫兹波室温探测单元及制备方法
本发明公开了一种集成红外屏蔽结构的太赫兹波室温探测单元及其制备方法,用于太赫兹波段的高性能探测。所述探测器的顶层是金属网格结构图形,作为过滤和屏蔽红外波段的结构;第二层为复合薄膜微桥桥面,其桥面顶部为亚波长结构金属图形,...
王军
吴雪飞
张也驰
苟君
吴志明
蒋亚东
文献传递
锯齿状天线对的太赫兹吸收结构及其应用
本发明公开了一种锯齿状天线对的太赫兹吸收结构及其应用。所述结构为锯齿状天线对,该天线的尺寸与一般的蝶形天线相比具有尺寸小的特点。本发明将蝶形天线对结构(100µm)改进为锯齿状的天线对(30µm),实现同频率的太赫兹吸收...
王军
蒋亚东
吴志明
苟君
黎威志
文献传递
AlCu合金的反应离子刻蚀工艺研究
2010年
AlCu合金的反应离子刻蚀具有其工艺特殊性,如Cu的去除、侧壁的保护、后腐蚀的抑制等。采用BCl3、Cl2、N2和CH4刻蚀AlCu合金,获得了优化的工艺参数,分析了CH4的侧壁保护作用,重点研究了刻蚀残留物的去除。
苟君
吴志明
太惠玲
袁凯
关键词:
反应离子刻蚀
一种增强太赫兹辐射吸收率的膜系结构及其制备方法
本发明公开了一种增强太赫兹辐射吸收率的膜系结构及其制备方法,该膜系结构位于太赫兹探测器敏感单元的顶层,包括介质薄膜及位于其上的太赫兹吸收层。所述介质薄膜为采用PECVD混频技术制备的低应力氮化硅或氧化硅薄膜,该介质薄膜被...
王军
蒋亚东
苟君
吴志明
黎威志
文献传递
一种超材料微桥结构及其制备方法
本发明提供一种超材料微桥结构,涉及室温下太赫兹探测阵列成像技术领域,包括衬底和驱动电路层,驱动电路层上设有电路接口,还包括从下至上依次设置的底层金属薄膜、中间介质层、电极层、热敏薄膜层、钝化层和顶层金属薄膜;所述中间介质...
苟君
牛青辰
王军
蒋亚东
文献传递
硅表面太赫兹抗反射亚波长结构设计
2014年
亚波长结构是特征尺寸小于工作波长的连续阵列浮雕结构,可看成是一层折射率均匀的介质层,仅存在零级的透射和反射衍射。基于等效介质理论和严格耦合波理论介绍了亚波长抗反射结构。为提高111μm波长太赫兹辐射(2.7THz)的透过率,在硅表面设计了亚波长抗反射结构。该结构的透射率和反射率由其浮雕结构的周期、高度和占空比确定。利用等效介质理论和严格耦合波理论对其结构参数进行了优化设计。当周期为27μm、高度为13μm、占空比为0.75时,得到了99.05%的太赫兹辐射透过率。
苟君
蒋亚东
何少伟
王军
陈鹏杰
黎威志
关键词:
亚波长结构
严格耦合波理论
太赫兹
抗反射
一种基于机械移动的可调谐超材料结构及其制作方法
本发明涉及红外及太赫兹波段的调制器与探测器技术领域,尤其公开了一种基于机械移动的可调谐超材料结构及其制作方法,包括:固定图形结构、超材料结构、固定盒以及微位移控制器;固定盒包括顶端开口、在第一侧面开孔的框架,超材料结构放...
王军
梁恺
杜培甫
朱瑶瑶
苟君
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