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程美英

作品数：2 被引量：10H指数：2
供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心更多>>
发文基金：中国航空科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇调制
  • 2篇光谱
  • 2篇光源
  • 2篇红外
  • 2篇红外光
  • 2篇红外光源
  • 1篇调制特性
  • 1篇谱特性
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇气体探测
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇绝缘体上硅
  • 1篇机电系统
  • 1篇光谱特性
  • 1篇光学
  • 1篇光学制造

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇程美英
  • 1篇伞海生
  • 1篇陈旭远
  • 1篇李方强
  • 1篇钱昆

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅基微机械红外光源的设计和制备
随着经济的迅速发展，工业生产和交通运输等产生的气体对环境的污染日益严重，人们对空气质量的监测提出了更高的要求。红外气体传感器选择性好、灵敏度高，在气体定性和定量分析方面应用非常广泛。作为红外气体传感器的重要部件，红外光源...
程美英
关键词：红外光源调制特性气体传感器微电子机械系统光谱特性气体探测
文献传递
基于绝缘体上硅晶片的微机电系统红外光源被引量：3
2010年
提出了一种利用微机电系统（MEMS）制造工艺技术制备的硅基微型红外光源。该光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片作为基底材料,其上沉积多晶硅材料并通过离子注入工艺实现材料的电阻加热发光特性,SOI晶片上的单晶硅层通过重掺杂实现辐射光背向吸收自加热效应。利用SOI晶片中的掩埋二氧化硅层为刻蚀停止层,通过背面深反应离子刻蚀（DRIE）技术制备微米量级的薄膜发光层结构。光源表面工作温度和辐射光谱分别通过红外热像仪和光谱辐射计测量得到。实验结果表明,该光源在表面温度约700 K时,1.3~14.5μm波长内的能量转换效率约为5.58%,光源的调制频率在50%的调制深度下接近40 Hz。
钱昆李方强程美英伞海生陈旭远
关键词：光学制造红外光源微机电系统绝缘体上硅调制光谱
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