王金锁
- 作品数:25 被引量:16H指数:2
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 相关领域:一般工业技术机械工程更多>>
- 正压漏孔校准装置的研制
- 本文介绍了我们对正压漏孔校准方法的研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,我们建立了一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析。装置校准范围1×10-4Pa.m3/s-1×10-6Pa...
- 王金锁许红唐景远
- 关键词:正压漏孔漏率
- 文献传递
- 正压漏孔校准装置
- 许红王金锁胡央丽
- 作者对正压漏孔校准方法作了研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.该装置校准范围1×10-4 Pa m3/s~1×10-7 Pa m3/s...
- 关键词:
- 关键词:正压漏孔漏率
- 玻璃毛细漏孔漏率的测量
- 本文介绍了对毛细漏孔气流的性质,漏率测量以及Q-P关系的研究.利用石英玻璃拉制的毛细渊孔漏率范围为1×10-4Pa.m3/s~3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),本文建立的一套改...
- 王金锁许红唐景远
- 关键词:校准装置不确定度
- 利用静态膨胀法真空装置校准标准漏孔
- 本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过试验数据完全符合压力和漏率的理论曲线关系,并给出了该装置测量范围(10-5~10-9)pa·m3/s,装置在校准10-7Pa·m3/s的标准漏孔...
- 王金锁许红唐景远
- 关键词:静态膨胀法真空装置不确定度
- 文献传递
- 流导法真空标准装置的研制和使用
- 本文介绍了流导法真空装置的研制和使用。本装置具有工作效率高和可靠性高的特点, 同时还具有了标准漏孔的校准功能。本文给出了该装置测量范围(1×10~1×10)Pa,不确定度 U=(2%~5%),k=2。校准标准漏孔的漏率范...
- 许红张书令唐景远王金锁
- 关键词:标准漏孔不确定度
- 文献传递
- 玻璃毛细漏孔漏率的测量
- 本文介绍了我们对毛细漏孔气流的性质,漏率测量以及Q-P关系的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范围为1×10-44pa.m3/s-3×10-77Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套...
- 王金锁许红唐景远
- 关键词:正压漏孔不确定度漏率
- 文献传递
- 玻璃毛细漏孔漏率的测量
- 本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究.我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s~3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型...
- 王金锁许红
- 文献传递
- 玻璃毛细漏孔对氘气的漏率测量
- 氘气是氢的稳定同位素,室温下是一种无色、无味、无毒、无害的可燃性气体。氘气可用于核能、可控核聚变反应、激光器和灯源等。一般真空检漏都用氦气作为检漏气体,所以对标准漏孔漏率测量都用氦气作为校准气体。但在某些特殊情况,需要针...
- 王金锁许红
- 关键词:漏率
- 标准静态膨胀法真空装置研制被引量:7
- 2003年
- 本装置检定范围(10^(-3)~10~5)Pa,最佳校准能力0.012%~2.2%,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^(-3)Pa高真空计量的需求,而且还可以用来校准标准漏孔,拓宽了检测领域。
- 许红王金锁孟宪华
- 关键词:真空计校准方法校准装置
- 10<'-10>Pa溅射离子泵的研制
- 仇华兴唐景远王金锁
- 关键词:溅射离子泵极限真空真空获得设备电子储存环