毛静
- 作品数：16 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”山西省基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程化学工程更多>>
- 基于MEMS开关的程控步进衰减器
- 本发明涉及微波通讯领域中的衰减器，具体为基于MEMS开关的程控步进衰减器，包括三组T型网络衰减单元，三组T型网络衰减单元都包括衰减开关和短路开关，T型网络衰减单元还包括衰减模块，通过单片机控制衰减开关和短路开关的通断来对...
- 张斌珍薛晨阳贾志浩王伟毛静南雪莉
- 文献传递
- 一种高效低成本制作三维聚焦微流沟道的方法被引量：1
- 2014年
- 为了使用微流体细胞仪实现对细胞的精确计数,设计和制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流沟道。首先用Ansys软件对微流沟道的结构进行了优化设计,利用斜曝光工艺制作了SU-8微流沟道模具;然后利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)对SU-8模具进行倒模,得到其负模结构,对负模结构进行表面处理后,进行二次倒模,得到与原SU-8微流沟道结构一致的PDMS复制品;最后用荧光检测方法对封装好的PDMS微流沟道的封装和聚焦效果进行了测试。结果表明:该芯片结构可靠,可以满足进一步的流体聚焦检测要求,采用该方法生产的微流沟道具有生产周期短、成本低、效率高和结构可靠的特点。
- 杨潞霞毛静郝晓剑张斌珍
- 关键词：SU-8倒模
- 圆片级聚合物光学微球腔的集成制造方法
- 本发明为一种圆片级聚合物光学微球腔的集成制造方法，解决了现有工艺过程繁琐、不能大面积有序可控制造、光学性能不突出的问题。本发明方法包括如下步骤：在圆形基片上制作圆柱基底；清洗基底，烘干；向圆柱基底上喷射NOA73光学胶；...
- 唐军刘俊薛晨阳张斌珍闫树斌商成龙段俊萍张天恩雷龙海谢成峰毛静李惠琴
- 文献传递
- 基于聚二甲基硅氧烷的微流控芯片封装技术研究被引量：1
- 2015年
- 提出一种优化的PDMS(聚二甲基硅氧烷)—PDMS键合技术,对PDMS基片与PDMS盖片使用不同的预聚物和固化剂配比进行键合。设置了按不同比例键合、氧气等离子体表面处理键合及涂覆液态PDMS键合这三种方法的对比实验,并将其应用于微流控芯片的封装测试。测试结果表明,不同比例键合后的芯片键合强度适宜,可重复利用,高效节能。键合参数:基片和盖片所用预聚体、固化剂质量比分别为10∶1和15∶1;盖片的固化温度75℃,固化时间40 min。
- 毛静张斌珍杨潞霞王春水南雪莉李惠琴
- 关键词：聚二甲基硅氧烷微流控芯片封装键合强度
- 基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法
- 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率...
- 张斌珍南雪莉孙玉洁王伟贾志浩毛静崔建利赵龙徐苏萍
- 基于PDMS的纳米级光栅制作方法
- 本发明涉及光栅制作技术领域，具体为一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，解决了现有的纳米光栅制作方法所用设备昂贵、工艺条件苛刻复杂、难以控制、制作成本高、周期长的问题。一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，包括如下步骤：...
- 闫树斌段俊萍张斌珍王万军王伟崔敏贾志浩张勇杨潞霞毛静范新磊姚德启
- 文献传递
- 流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
- 2015年
- 以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔,再使用混合PDMS制作出腔体的盖片;然后将两部分进行表面处理后键合,注射填充液、完成二次封装;最后对透镜的表面形变和焦距变化进行了测试,根据测试结果绘制了焦距-磁通量曲线。测试中,在磁通量从200mT到600mT的过程中,焦距由22.0mm变为20.2mm。结果表明,以本文方法制作变焦透镜,可以简化工艺步骤,降低制造成本,减小整体体积,焦距可控,有着更好的密封性,受外界环境干扰小。
- 贾志浩段俊萍王伟王伟毛静王明焕
- 基于UV-LIGA工艺的酸性电铸铜溶液最优化配比被引量：2
- 2014年
- 为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比。首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电铸试验。通过对电镀参数的反复调整,获得效果最优的镀液配比分别为:CuSO4·5H2O的质量浓度为180 g/L,98%的H2SO4为70 g/L,纯度为37%的HCl是0.188 mL/L,光亮剂210A、210B、210C分别为0.4 mL/L、0.3 mL/L、4 mL/L。实验结果表明,电铸获得的模具镜面光亮、无分界、质量高。同时,对电镀方法进行了改进,选择在常温下进行电铸实验并加入超声波完成辅助机械处理,得到了高纯度的电铸铜层,铜的重量百分比达到了96.22%,铸层表面显微组织结构明显改善,大大改良了电铸层的力学性能及物理性能。
- 南雪莉张斌珍张少华韩帅毛静
- 关键词：超声处理常温
- 基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法
- 本发明涉及喇叭天线的制作方法，具体为基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法，包括以下步骤：选取基片，基片清洗后旋涂感光胶并紫外光刻，得到喇叭天线阵列的模具；在模具上覆盖一层可固化的柔性材料，待柔性材料固化后揭下模具，...
- 张斌珍薛晨阳段俊萍崔建利王伟贾志浩毛静南雪莉
- 文献传递
- 主光轴平行于基底的微透镜阵列设计与制作被引量：5
- 2014年
- 用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析,并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟,确定了合理的微透镜腔体结构;然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体,将腔体与盖片进行了密闭封装,通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列;最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试。结果表明,提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控,而且易与其它的微系统集成到同一芯片。
- 杨潞霞毛静王春水张斌珍王万军
- 关键词：微透镜阵列有限元分析芯片键合
