林小园
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：南开大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金教育部重点实验室开放基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电气工程更多>>
- ZnO多晶薄膜绒面结构及陷光特性分析被引量：1
- 2013年
- 针对当前薄膜太阳电池对光管理的迫切需求,采用磁控溅射及后腐蚀技术制备获得了高性能绒面铝掺杂氧化锌(AZO,ZnO:Al)前电极。深入分析了ZnO多晶薄膜厚度及腐蚀时间对绒面结构及陷光特性的影响。研究结果表明,随多晶薄膜厚度的增加,晶粒尺寸增大,腐蚀后获得的弹坑状表面结构的粒径亦随之增大,绒度增大;随后腐蚀时间的增加,弹坑状粒径及绒度均具有先增大而后趋于饱和的趋势。当沉积ZnO多晶薄膜初始厚达2μm时,获得的薄膜电阻率小于3×10-4Ω·cm,经180s稀HCl(0.5%)腐蚀后,绒面ZnO的均方根粗糙度(RMS)达143nm,400～1 100nm平均透过率达81.4%,在500nm处绒度为84.3%,750nm处绒度可达73.8%,方块电阻小于5Ω/□,满足了硅基薄膜叠层电池对前电极的光电性能需求。
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- 关键词：散射特性薄膜厚度湿法刻蚀
- 硅基薄膜中透明导电前电极陷光特性研究
- 具有一定表面织构的前电极材料在薄膜太阳电池中有着重要的作用,通过有效的界面散射提高入射光在薄膜电池吸收层中的光程,实现入射光子在吸收层中的有效捕获,从而提高其吸收效率。通过对前电极材料陷光结构的调控,可以获得不同波段、不...
- 林小园
- 关键词：湿法腐蚀散射特性AAO模板
- 文献传递
- 氧化锌多晶薄膜绒面结构及陷光特性分析
- 当前薄膜太阳电池对光管理的迫切需求,本文采用磁控溅射及后腐蚀技术制备获得了高性能绒面铝掺杂氧化锌前电极.深入分析了氧化锌多晶薄膜厚度及腐蚀时间对绒面结构及陷光特性的影响.研究结果表明,随多晶薄膜厚度的增加,晶粒尺寸增大,...
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- 关键词：TEXTUREDSURFACESMORPHOLOGYSCATTERINGWETETCHING
