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文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇压强
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  • 3篇管式炉
  • 2篇设备价格
  • 2篇控制阀
  • 1篇控制系统
  • 1篇反应管

机构

  • 3篇中国科学技术...

作者

  • 3篇蔡家琦
  • 3篇许小亮
  • 3篇杨亮亮
  • 3篇王会杰
  • 3篇王子文
  • 3篇郁菁

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2013
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
一种管式炉外延系统
本发明提供了一种管式炉外延系统,包括:反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统;其中:所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接;所述真空系统与反应管的排气端密封连接;所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计...
吴以治许小亮王武翟王会杰郁菁杨亮亮王子文蔡家琦
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一种管式炉外延系统
本实用新型提供了一种管式炉外延系统,包括:反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统;其中:所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接;所述真空系统与反应管的排气端密封连接;所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压...
吴以治许小亮王武翟王会杰郁菁杨亮亮王子文蔡家琦
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一种管式炉外延系统
本发明提供了一种管式炉外延系统,包括:反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统;其中:所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接;所述真空系统与反应管的排气端密封连接;所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计...
吴以治许小亮王武翟王会杰郁菁杨亮亮王子文蔡家琦
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共1页<1>
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