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李东宏

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇硅片
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺

机构

  • 1篇中华人民共和...

作者

  • 1篇孙晓冬
  • 1篇李东宏

传媒

  • 1篇传感器技术

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究
2001年
采用肼水溶液在各种条件下对硅片进行腐蚀 ,通过分析与腐蚀速率有关的因素 ,即改变腐蚀溶液温度和肼的质量分数 ,来提高腐蚀速率。整个实验过程实质就是寻求最佳腐蚀工艺条件 ,从而提高硅片的表面质量。
李东宏吴紫峰孙晓冬
关键词：各向异性腐蚀硅片半导体工艺
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共1页<1>
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